جلوگیری از پارگی لولههای کوارتز در فرآیند خشک کردن ویفرها
باید صادقانه بگوییم: وقتی که لامپ مادون قرمز در فرآیند تولید ویفرها منفجر میشود، این موضوع صرفاً یک مشکل تعمیراتی نیست؛ بلکه یک فاجعه است.
تکههای شیشه و گاز هالوژن به طور مستقیم روی ویفرها میافتند؛ یک بار انفجار، باعث میشود کل محموله ویفرها بیارزش شود. به همین دلیل، ما بسیار به نحوه ساخت کنترلرهای دیجیتال و لامپهای مورد استفاده توجه میکنیم؛ میخواهیم مطمئن شویم که چنین اتفاقی هرگز رخ ندهد.
حفظ خنکی و سلامت لولهها
در اکثر مواقع، لولهها به دلیل شوک حرارتی یا وجود نقاط گرم در ساختار لولهها خراب میشوند. برای حل این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا و فیلامنتهایی که با دقت زیاد ساخته شدهاند، استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود گرما به طور یکنواخت توزیع شود.
اما سختافزار تنها نیمی از راه است؛ نمیتوانید به محض فعال کردن لامپ، توان آن را به ۱۰۰٪ برسانید. اگر فیلامنت سریعتر از آنچه کوارتز میتواند تحمل کند، گسترش یابد، منجر به شکستگی لوله خواهد شد.
به همین دلیل، از سیستم PID برای کنترل توان لامپ استفاده میکنیم؛ این روش، روشی ملایمتر برای گرم کردن لولهها است.
جلوگیری از آلودگی
حتی با بهترین سیستمهای کنترل، حوادثی رخ میدهد؛ بنابراین، ما یک سیستم ایمنی اضافی در نظر گرفتهایم.
لامپها را در غلافهای کوارتزی محکم قرار میدهیم؛ این غلافها مانند سپری عمل میکنند و در صورت پارگی لوله، تکههای شیشه را جذب کرده و از برخورد آنها با ویفرها جلوگیری میکنند.
همچنین، به کانکتورها نیز توجه زیادی میکنیم؛ اگر کانکتورها برای تحمل جریانهای بالا ساخته نشده باشند، شروع به آسیب دیدن میکنند؛ این امر منجر به کاهش ولتاژ و گرمای ناهموار میشود؛ این موضوع نیز فشار غیرطبیعی بر روی لولهها ایجاد میکند. ما مطمئن میشویم که اتصالات کاملاً محکم باشند.
واقعیت حرارت بالا
مشکل اینجاست که برای افزایش سرعت فرآیند خشک کردن، به چگالی حرارتی بالایی نیاز است؛ اما این امر کوارتز را تا حد مرزی خود میرساند.
اگر لامپها را با توان بالا در فضای کوچکی راهاندازی کنید، فنهای خنککننده باید بتوانند کار خود را به خوبی انجام دهند. اگر جریان هوای کافی به انتهای لامپ نرسد، گرما در نقاط مرزی لامپ انباشته میشود؛ این موضوع معمولاً منجر به نشت گاز میشود.
حتماً مشخصات جریان هوا را با توان لامپها مقایسه کنید؛ این یک جزئیات کوچک است، اما تفاوت بین یک فرآیند روان و یک فاجعه را ایجاد میکند.