در روی سطح مرطوب، مرحله شستشو همان جایی است که بازدهی به آرامی کاهش مییابد. آیا وجود نقاط سرد یا دمای نامتعادل در حین خشک کردن، باعث ایجاد لکههای آبی، ذراتی که به سطح چسبیده میمانند، و فشارهایی که قابل کنترل نیستند، میشود؟ آنچه که مورد نیاز است، حرارتی است که قابل تکرار، متمرکز و پاک باشد.
دقت گرمایش مادون قرمز: یکنواختی و قابلیت تکرار در مقیاس زیر میلیمتر
ما از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم؛ این لامپها فیلد حرارتی پایداری ایجاد میکنند و کنترل فضایی آنها در مقیاس زیر میلیمتر است. بنابراین، دمای ویفر در هر بار انجام عملیات، مطابق با الگوی مورد نظر خواهد بود. لامپهای مادون قرمز موج کوتاه، با جرم حرارتی کم، سریع گرمایش ایجاد میکنند؛ این امر منجر به تعادل سریعتر و کنترل دقیقتر میشود. اعداد نشان میدهد که یکنواختی دمای ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، و قابلیت تکرار عملیات نیز در تمام دستههای تولیدی یکسان است.
چرا این روش در مرحله شستشو مؤثر است؟
گرمایش در مرحله شستشو باید دقیق و در محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱-۱۰۰ انجام شود. لامپ هیچ ذرهای تولید نمیکند، و ظرف ضدآب آن نیز میتواند در برابر فشار آب و مواد شیمیایی مقاومت کند، بدون اینکه پایداری تولید حرارت مختل شود. با این روش، زمان انجام عملیات کوتاهتر میشود؛ همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. تعداد تولیدات معیوب کمتر میشود، و خشک شدن سطح ویفر نیز به خوبی انجام میشود، بدون اینکه ساختار ویفر تخریب شود.
نکات مربوط به نصب و کارکرد
محدودیتهای نصب لامپ بسیار دقیق هستند؛ اگر میخواهید یکنواختی دما را حفظ کنید، باید پرتو لامپ را در محدوده ±۰.۵ میلیمتر نسبت به سطح ویفر تنظیم کنید. لامپ برای استفاده با آب بدون یون و مواد شیمیایی استاندارد ساخته شده است؛ اما موادی که حاوی کلرید هستند یا خاصیت خورندگی بالایی دارند، نیاز به بررسی دقیقتری دارند. باید به طور منظم کالیبراسیون لامپ را انجام داد؛ حتی در صورت استفاده از لامپهای پایدار، تغییرات در مسیر سنسورها میتواند منجر به کاهش قابلیت تکرار شود.