Cómo controlar adecuadamente las temperaturas de la oblea en una fábrica inteligente
Si está construyendo una fábrica inteligente, probablemente ya se haya dado cuenta de que esperar a que algo se estropee antes de arreglarlo es un verdadero desastre. Es necesario poder ver qué está sucediendo en ese momento. Aquí es donde entran en juego los sistemas de infrarrojos. Los utilizamos porque nos permiten conocer la distribución del calor en la oblea sin necesidad de tocarla. Sin contacto, sin contaminación. Simples.
Por qué el método sin contacto es importante
Piense en el antiguo método: los termopares. Estos deben estar en contacto con la superficie, lo cual genera problemas. Se corre el riesgo de daños mecánicos o, peor aún, de que alguna partícula caiga sobre el sustrato.
Con la pirometría por infrarrojos, simplemente “observamos” la radiación térmica que emite la oblea. Es un método más limpio. Estos sensores generan señales que se pueden conectar directamente al sistema PLC o SCADA. De esta manera, se obtiene un mapa térmico en tiempo real. Es la única forma real de detectar esos “puntos fríos” que aparecen durante los procesos térmicos rápidos.
Haciendo que los datos sean realmente útiles
Un sensor por sí solo no es más que un componente electrónico. Lo verdaderamente importante es cómo se conecta a la capa de datos del sistema.
Construimos estos sistemas de infrarrojos para que sean resistentes. Sabemos que los equipos de grabado o CVD generan mucha interferencia electromagnética, lo cual puede afectar las señales. Pero una vez que convertimos esa energía térmica en datos digitales, podemos crear un circuito de retroalimentación eficaz. Si la temperatura varía incluso 2°C, el sistema lo detecta y ajusta inmediatamente el suministro de energía. Ni siquiera hace falta parpadear.
La realidad
Claro, no todo es perfecto. Hay algunos compromisos que hay que tomar en cuenta.
Los sensores de infrarrojos son delicados en cuanto a la emisividad. Si se cambia el recubrimiento de la oblea o si el gas en la cámara comienza a moverse, las lecturas cambiarán. Habrá que dedicar tiempo a calibrar los ajustes del software; de lo contrario, se obtendrán datos inútiles.
Y algo más: mantenga sus ventanas limpias. Si se acumula suciedad en los orificios de cuarzo, la señal se bloqueará. El perfil térmico se verá afectado, y tendrá que empezar todo de nuevo. Mantenga el vidrio limpio, y todo funcionará bien.