En el área de fabricación, el rendimiento depende a menudo de la temperatura. Una variación de medio grado durante el proceso de secado del fotoresistente puede causar errores en el ancho de las líneas trazadas, errores que persisten incluso después del proceso de grabado y depósito. En los procesos CSP a nivel de oblea, el mismo régimen térmico controla tanto el proceso de curado del material como el proceso de fundición del soldador. Lo que se necesita es un calor constante, ciclo tras ciclo, sin que el centro térmico cambie.
Esto es lo que realmente importa desde el punto de vista técnico.
Fabricamos los calentadores para CSP a nivel de oblea con un control térmico preciso: una estabilidad del punto de referencia de ±0.1°C y uniformidad en toda la superficie de la oblea. Esto se logra mediante elementos infrarrojos de onda corta y zonas de calentamiento aisladas con cuarzo. El sistema funciona en salas limpias de clase 1–100, utiliza materiales con baja emisión de gases y mantiene la cámara sellada para que la cantidad de partículas permanezca constante. La ausencia total de partículas no es solo un objetivo, sino también el resultado deseado del diseño. Cada zona está controlada por un sistema de bucle cerrado, de modo que los procesos de secado y curado se realizan según las especificaciones establecidas, independientemente de las condiciones ambientales.
Por qué funciona en la práctica.
Se puede utilizar para secar obleas, secar el fotoresistente, curar los materiales utilizados en el encapsulado y secar las obleas después del proceso de limpieza. En la litografía, permite realizar procesos de secado precisos, manteniendo los parámetros relacionados con el diámetro de las líneas y los ángulos de los bordes dentro de los límites permitidos. En el proceso de empaquetado, permite curar los materiales utilizados en el encapsulado y preparar el soldador para su fundición, sin que se produzcan sobrecalentamientos que puedan causar daños en los materiales utilizados. El resultado es menos necesidad de retrabajo, un número estable de defectos y tiempos de ciclo predecibles. Es eficiente porque su masa es pequeña y su respuesta es rápida. Además, su funcionamiento está garantizado gracias a las zonas modulares y a los elementos reemplazables en el campo.
Algunas cosas a tener en cuenta.
El calentador es compacto y se integra fácilmente en los sistemas de aplicación estándar. Sin embargo, su alineación con el plano de la oblea debe ser precisa. Es necesario contar con una precisión de submilímetros en la alineación, y también es importante verificar el régimen térmico en los bordes de la oblea, ya que allí son donde los márgenes son más estrechos. Utilizar un ambiente de nitrógeno mejora la precisión en procesos sensibles a la humedad y prolonga la vida útil de los elementos del calentador.