Die richtige Temperatur der Wafer im Smart Fab erreichen
Wenn Sie einen Smart Fab errichten, haben Sie wahrscheinlich schon erkannt, dass es ein Albtraum ist, auf das Auftreten von Fehlern zu warten, bevor man etwas daran ändert. Man muss unbedingt sehen können, was gerade vor sich geht – und genau da kommen Infrarot-Systeme ins Spiel. Wir nutzen sie, weil sie es uns ermöglichen, die Wärmeverteilung auf der Waferoberfläche zu erfassen, ohne die Wafer selbst berühren zu müssen. Kein Kontakt, keine Kontamination – einfach.
Warum kontaktloses Messen wichtig ist
Denken Sie an die alte Methode – Thermokoppel. Dabei müssen die Sensoren die Oberfläche berühren, was Probleme verursacht. Es besteht die Gefahr von mechanischem Stress oder sogar davon, dass Partikel auf die Waferoberfläche fallen. Mit Infrarot-Pyrometrie können wir einfach die thermische Strahlung beobachten, die von der Wafer ausgeht. Das ist sauberer. Die Sensoren liefern Signale, die direkt in Ihr PLC- oder SCADA-System eingespeist werden können. So erhalten Sie eine aktuelle Wärmekarte. Das ist die einzige echte Möglichkeit, diese störenden „Kaltstellen“ bei schnellen Wärmetransformationsprozessen zu erkennen.
Die Daten nutzbar machen
Ein Sensor allein ist nur ein Hardwarekomponente. Das Wichtigste ist, wie man ihn mit dem Datenfluss verbindet. Wir bauen diese Infrarot-Systeme so konstruiert, dass sie widerstandsfähig sind. Wir wissen, dass bei Verfahren wie Etch oder CVD viel elektromagnetische Störung entsteht – doch sobald die thermische Energie in digitale Daten umgewandelt wird, kann man einen Feedbackkreisschluss einrichten, der tatsächlich funktioniert. Wenn die Temperatur um nur 2°C abweicht, erkennt das System dies sofort und passt die Stromversorgung an. Man muss nicht einmal blinzeln.
Realitätscheck
Es ist jedoch nicht alles perfekt. Es gibt einige Kompromisse. Infrarotsensoren sind empfindlich bezüglich der Emissivität. Wenn sich die Beschichtung der Wafer ändert oder wenn das Gas in der Kammer zu zirkulieren beginnt, ändern sich die Messwerte. Man muss Zeit investieren, um die Softwareeinstellungen zu kalibrieren – sonst erhält man falsche Daten. Und noch etwas: Halten Sie die Fenster sauber. Wenn Schmutz auf den Quarzöffnungen haftet, wird das Signal blockiert. Dann ist das Wärmeprofil beeinträchtigt – und man muss wieder von vorn anfangen. Halten Sie das Glas sauber, dann ist alles in Ordnung.