In der Fertigungshalle kann bereits eine Abweichung von einem halben Grad beim Erhitzen des Fotolacks dazu führen, dass ein sauber angelegtes Muster unbrauchbar wird. Es ist daher notwendig, dass die Wärme genau dort ankommt, wo sie benötigt wird – auf der gesamten Oberfläche des Wafer. Deshalb entwickeln wir spezielle Heizgeräte für die Verarbeitung von Wafern: Halogen-, Quarz-, Kurzwellen-, Mittelwellen- sowie Kohlenstofffaser-NIR-Heizer.
Was technisch wichtig ist
Wir gestalten die thermischen Module so, dass eine gleichmäßige Verteilung der Wärme über die gesamte Oberfläche des Wafer gewährleistet wird. Es sollte eine Stabilität von ±0,1°C während des Erhitzungsprozesses geben, damit die kritischen Abmessungen innerhalb der Spezifikationen bleiben. Die Emitter werden so ausgewählt, dass sie schnell reagieren, einen geringen thermischen Verzug aufweisen und ihre Emissivität über Tausende von Zyklen hinweg konstant bleibt.
Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 ist ebenfalls wichtig. Versiegelte Verbinder, Materialien mit niedrigem Gasaustritt sowie eine Oberflächenbeschaffenheit, die die Entstehung von Partikeln auf ein Minimum reduziert – all das wird berücksichtigt. Leistung, Spannung, Abmessungen sowie Anschlussarten werden so festgelegt, dass eine einfache Integration möglich ist.
Warum das in der Produktion funktioniert
Bei der Lithografie und der Verarbeitung des Fotolacks hängt alles vom Kontrollieren der thermischen Bedingungen ab. Eine bessere Gleichmäßigkeit bedeutet weniger Fehler an den Rändern, weniger Nacharbeiten und eine bessere Kontrolle der Linienbreite. Dadurch erhöht sich die Ausbeute und es gibt weniger Abweichungen.
Der Energieverbrauch sinkt, da der Heizer schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese auch ohne Überschreitung halten kann. Die Zuverlässigkeit ist so gestaltet, dass die Geräte rund um die Uhr betrieben werden können – dadurch gibt es weniger Überraschungen und weniger Ersatzteile, die ungenutzt aufbewahrt werden müssen.
Was man unbedingt beachten muss
Es ist zwingend notwendig, dass die Schnittstellen zum OEM-Gerät übereinstimmen: Das Befestigungssystem, die Steckdosen sowie die Sensortypen müssen alle kompatibel sein, damit die Geräte richtig funktionieren. Bevor Sie bestellen, prüfen Sie die Spannungs-, Kühlungs- und Abgasanforderungen Ihres Geräts.
Bei einigen Hochleistungsgeräten muss das PID-Profil neu abgestimmt werden, um Überschreitungen beim Start des Prozesses zu vermeiden. Nach der Installation sollte eine kurze Qualifizierungsprüfung durchgeführt werden, um die Erhitzungskurve zu bestimmen und die Partikelkonzentration genau zu messen.