ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেকিং-এর তাপমাত্রায় ১°C এর পরিবর্তনই লাইনওয়াইডনেসকে প্রভাবিত করতে যথেষ্ট। অ-সমান ড্রাই সাইকেল? এর ফলেই ওয়াটারমার্ক তৈরি হয়, যা উৎপাদন ক্ষমতাকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। আমরা অ্যাডভান্সড ওয়েফার ফ্যাবগুলোতে জোনভিত্তিক হিটিং ব্যবস্থা ব্যবহার করি; যাতে এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা হ্যালোজেন বা NIR ব্যবহার করে স্বাধীন জোন নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা ব্যবহার করি; প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±0.1°C এর মধ্যে রাখা হয়। হার্ডওয়্যারগুলো Class 1–100 ক্লিনরুমে রাখা হয়; যাতে কোনো ধরনের কণা না জমে। ইন-সিটু মনিটরিং এবং কম গ্যাস নিঃসরণকারী উপকরণগুলো ব্যবহার করে এটা নিশ্চিত করা হয়।
রিপিটেবিলিটি বজায় থাকে, কারণ ক্লোজড-লুপ সেন্সর ও রেসিপি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা তাপমাত্রাকে স্থিতিশীল রাখে। এনার্জি ব্যবহারও কমে যায়—কারণ জোনগুলো শুধুমাত্র যেসব অংশ গরম হওয়া দরকার, সেগুলোই গরম হয়।
কেন এটা গুরুত্বপূর্ণ?
লিথোগ্রাফিতে, জোনভিত্তিক হিটিং ফটোরেজিস্ট বেকিং-এর তাপমাত্রাকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে ভিসকোসিটি ও কোটিং প্রোফাইল স্থিতিশীল থাকে। ওয়েফার পরিষ্কার ও শুকানোর ক্ষেত্রে, স্বাধীন হট/কুল জোন নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা কিনারার অংশগুলোকে পরিষ্কার রাখে। এর ফলে দ্রুত শুকানো সম্ভব হয়, আর থার্মাল শকও হয় না।
প্যাকেজিংয়ে, এটা দ্রুত ও সমানভাবে কিউরিং করতে সাহায্য করে; ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়, আর অ্যাডহেশন ও ভয়েড নিয়ন্ত্রণও ঠিক থাকে। ফলাফল হলো কম অপচয়, স্থিতিশীল SPC, এবং পরিকল্পনামাফিক উৎপাদন।
আপনাকে আগে থেকে জানা উচিত…
বিদ্যমান ফ্যাবগুলোতে জোনভিত্তিক হিটিং ব্যবস্থা যোগ করতে হলে চেম্বারের জ্যামিতি, কোয়ার্টজ ফিক্সচারগুলো ও এক্সহাস্ট সিস্টেমের সামঞ্জস্য দেখা দরকার। সংক্ষিপ্ত ইন্টিগ্রেশন সময় ও ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন।
অতিরিক্ত জোন কন্ট্রোলার ও সেন্সরের জন্য কিছুটা জায়গা দিতে হবে। কিন্তু ফলাফল হলো সমগ্র লাইনে উন্নত তাপ নিয়ন্ত্রণ এবং বেশি সময় ব্যবহার করা সম্ভব।