في الخطوط الإنتاجية، ينتظر رقاقة الإلكترونيات المرنة أن يتم تسخينها بشكل مناسب، حتى يتم التحكم في سمك طبقة الفوتوريزيست. فأي تغير بسيط في درجة الحرارة قد يؤدي إلى تغيير في خصائص طبقة الفوتوريزيست، وبالتالي ظهور عيوب في المنتج النهائي. لذلك، صممنا جهاز التسخين الخاص برقاقات الإلكترونيات المرنة للتغلب على هذه المشكلة.
ما الذي يُعتبر مهمًا في عملية التسخين؟
نستخدم أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مع مصدر ضوئي من نوع الكوارتز-الهالوجين، بالإضافة إلى نظام تحكم دائري، مما يضمن استقرار درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية في كامل المنطقة المستخدمة في الإنتاج. كما أن درجة الحرارة تظل ثابتة خلال عمليات التسخين المتتالية، بحيث تكون نتائج كل عملية متشابهة للغاية. تم تصميم منطقة التسخين لتتناسب مع غرف العمليات من الفئة 1–100، حيث تم اختيار المواد المستخدمة لضمان عدم ظهور أي جسيمات أثناء العملية. يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة، كما يتم تسجيل كل عملية لضمان القدرة على تتبعها بدقة.
لماذا يناسب هذا الجهاز الإلكترونيات المرنة؟
هذه الرقاقات رقيقة جدًا، وحساسة لدرجات الحرارة. لذلك، فإن التسخين المستقر والمنتظم يضمن حصولنا على طبقة فوتوريزيست ذات سمك موحد، مما يساعد في التحكم بدقة في الأبعاد الحرجة للرقاقة، وبالتالي تقليل عمليات إعادة المعالجة. كما أن الوقت اللازم للتسخين يكون قصيرًا، مما يقلل من وقت التوقف غير المخطط له، وبالتالي يصبح وقت الإنتاج أكثر كفاءة. كما أن استهلاك الطاقة يتناسب مع الخصائص الحرارية للرقاقة، مما يقلل من تكلفة الإنتاج لكل رقاقة. أما الاعتمادية، فهي تعني القدرة على العمل بشكل مستمر، دون أي توقفات غير مخطط لها، ودون الحاجة إلى صيانة مستمرة.
ما الذي يجب أن يتوفر لتشغيل الجهاز بشكل صحيح؟
يحتاج الجهاز إلى مصدر طاقة نظيف وجاف، بالإضافة إلى نظام تهوية مناسب، لضمان استقرار إخراج الضوء والحفاظ على درجات الحرارة في النطاق الآمن. يمكن استخدام الجهاز مع الواجهات والمكونات القياسية، لكن إذا كان يتم استخدامه في منصة قديمة، فقد يكون من الضروري إجراء بعض التعديلات الميكانيكية والكهربائية. يجب إجراء هذه التعديلات خلال فترة الصيانة المخطط لها، حتى لا يتأثر الإنتاج بسبب التوقفات غير المخطط لها.