في قاعة التصنيع، يعتمد مستوى الجودة غالبًا على درجة الحرارة. فأي اختلاف بمقدار نصف درجة أثناء عملية تسخين المواد الضوئية قد يؤدي إلى أخطاء في عرض الخطوط، وهذه الأخطاء تظل موجودة حتى بعد عمليات النقش والترسيب. في خطوط CSP على مستوى الرقاقة، فإن نفس معايير التحكم في درجة الحرارة تُستخدم لضمان جودة عمليات الختم وإعادة تدفق اللحام. ما نحتاجه هو حرارة مستمرة، دورة تلو الأخرى، دون أن يحدث أي تغيير في مركز الحرارة.
هذه هي النقاط التقنية المهمة: لقد صممنا جهاز التسخين على مستوى الرقاقة لضمان التحكم الدقيق في درجة الحرارة: استقرار في درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، بالإضافة إلى توحيد درجة الحرارة عبر الرقاقة بأكملها. يتم توفير ذلك باستخدام عناصر تسخين بالأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، بالإضافة إلى مناطق تسخين معزولة بالكوارتز. يناسب هذا النظام غرف العمل النظيفة من الفئة 1–100، ويستخدم مواد منخفضة الانبعاثات، كما أنه يحافظ على الغرفة مغلقة للحفاظ على استقرار عدد الجسيمات. عدم تكوّن أي جسيمات ليس مجرد شعار، بل هو الهدف المطلوب في التصميم. يتم التحكم في كل منطقة بشكل مستقل، بحيث تتبع عمليات التسخين المختلفة الخطط المحددة، وليس ظروف الغرفة.
لماذا يعمل هذا الجهاز في الواقع؟ يمكن استخدامه لتجفيف الرقاقات، وتسخين المواد الضوئية، وختم المواد المستخدمة في التغليف، بالإضافة إلى تجفيف الرقاقات بعد عمليات التنظيف. في عمليات الطباعة الضوئية، يساعد هذا الجهاز في تحقيق دقة عالية في عمليات التسخين، مما يحافظ على دقة الخطوط وزوايا الجدران ضمن المعايير المحددة. في عمليات التغليف، يساعد هذا الجهاز في ختم المواد المستخدمة في التغليف وتحضير اللحام لإعادة التدفق، دون حدوث أي تغييرات درجة حرارية قد تؤدي إلى تلف الرقاقات. النتيجة هي تقليل عدد الرقاقات التي يجب إعادة معالجتها، بالإضافة إلى استقرار مستوى العيوب، وأوقات تشغيل موثوقة. يعتبر هذا الجهاز فعالًا لأن حجمه صغير وسرعة استجابته عالية، كما أنه يمكن تغيير عناصره في أي وقت.
بعض النقاط التي يجب مراعاتها: الجهاز صغير الحجم ويمكن دمجه مع الأجهزة القياسية، لكن يجب الحرص على تحقيق توازن دقيق مع سطح الرقاقة. يجب التأكد من درجة الدقة في المواقع الميكانيكية، والتحقق من معايير درجة الحرارة عند حواف الرقاقة، حيث تكون الهوامش أضيق. استخدام النيتروجين في عمليات التسخين يساعد في تحسين الدقة في العمليات التي تتأثر بالرطوبة، كما أنه يطيل عمر العناصر المستخدمة في التسخين.