http://warm-ir-patio-comfort.com/zh/tags/%E5%AE%89%E5%85%A8/ Recent content in 安全 on Warm IR Patio Comfort Hugo zh Wed, 03 Jun 2026 01:16:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 03 Jun 2026 01:16:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/zh/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="晶圆加热安全距离"></p> <p>在光刻车间，一片300mm的晶圆承载着数千个芯片，每一秒钟都关系到热预算。软烘烤温度漂移仅0.3°C就可能影响关键尺寸，而边缘温度偏高的硬烘烤则会出现残胶现象。晶圆加热的安全距离不是冗余余量，而是确保良率不流失的关键界限。</p>