فیبرکی فیکٹریوں میں، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 1°C کا فرق بھی لائنوں کی چوڑائی کو تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے۔ اگر خشک کرنے کا عمل یکساں نہ ہو، تو اس سے واٹرمارکس پیدا ہوتے ہیں، جن کی وجہ سے پروڈکشن کی کارکردگی متأثر ہوتی ہے۔ ہم جدید ویفر فیکٹریوں میں زونل ہیٹنگ کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ایسی خرابیوں کو روکا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہم ہیلوجن یا NIR کے ذریعہ الگ الگ زونوں کو کنٹرول کرتے ہیں، اور پروسیس کے دوران ویفر کی سطح کو ±0.1°C کے اندر رکھتے ہیں۔ ہارڈویئر کو کلاس 1–100 کے کلین روموں میں رکھا جاتا ہے، تاکہ کوئی ذرات شامل نہ ہوں؛ اس کی تصدیق ان-سیٹو مانیٹرنگ اور کم گیس اخراج والے مواد کے استعمال سے کی جاتی ہے۔
دہرائی کی صلاحیت برقرار رہتی ہے، کیوں کہ کلوزڈ-لوپ سینسرز اور ریسیپی کنٹرول سے حرارتی توازن برقرار رہتا ہے۔ انرجی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ صرف انہی حصوں کو گرم کیا جاتا ہے جن کو گرم کرنے کی ضرورت ہے، اور پروسیس کے مراحل بھی یکساں رہتے ہیں۔
یہ کیوں اہم ہے؟
لیتھوگرافی میں، زونل ہیٹنگ سے فوٹوریزسٹ کا درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے، جس سے اس کی چپچپاہٹ اور کوٹنگ کی ساخت بھی مستحکم رہتی ہے، اور CD کنٹرول بھی متأثر نہیں ہوتا۔
ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، الگ الگ ہیٹ/کولڈ زون کنٹرول سے کناروں پر موجود بوندیں اور واٹرمارکس ختم ہوجاتے ہیں۔ اس طرح تیزی سے خشک ہونے کے باوجود کوئی حرارتی شاک نہیں ہوتا۔
پیکیجنگ میں، یہ طریقہ تیز اور یکساں کیورنگ کے لئے استعمال ہوتا ہے؛ اس سے پروسیس کا وقت کم ہوتا ہے، اور چپس کی چپکنے کی صلاحیت بھی برقرار رہتی ہے۔ نتیجے کے طور پر، فضول مال کم ہوتا ہے، SPC مستحکم رہتا ہے، اور پروڈکشن کی رفتار بھی بہتر ہوتی ہے۔
آپ کو پہلے ہی جاننے کی ضرورت ہے…
موجودہ سسٹم میں زونل ہیٹنگ کو شامل کرنے کے لئے، چیمبر کی ساخت، کوارٹز فکسچرز، اور اگزوسٹ سسٹم کو مناسب بنانا ضروری ہے۔ انٹیگریشن کے لئے کچھ وقت درکار ہے، اور کیلیبریشن کے لئے بھی وقت درکار ہے۔
آپ کو تھوڑی جگہ کی قربانی دینی پڑے گی، لیکن اس کے بدلے میں آپ کو بہتر حرارتی کنٹرول اور زیادہ پروڈکشن کی صلاحیت ملے گی۔