ІЧ лампа SRD (спін ринс драйер)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

На виробничому майданчику цикл SRD — це той етап, де формується вихід продукції або ж відбувається її приховане погіршення. Полоскання, яке залишає мікрокраплі, або сушка, що закладає напруги у пластину, перетворюються на дефекти та брак. Інфрачервона лампа у вашому Spin Rinse Dryer — це не просто джерело тепла. Це тепловий актуатор, що встановлює межі сушіння. Якщо потужність змінюється або порушується однорідність, повторюваність, на яку ви розраховуєте в літографії та обробці фоторезисту, втрачається.

Ось що ми заклали в основу інфрачервоної лампи SRD: короткохвильові NIR-емітери у швидкодіючому кварцовому корпусі, налаштовані на швидке термічне підвищення та точний стабільний режим. Ви отримуєте однорідність температури на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій зоні сушіння та відновлення за субсекундний інтервал після коливань у полосканні. Конструкція розрахована на використання в чистих приміщеннях класу 1–100, з матеріалами з низьким виділенням газів та геометрією, що зменшує утворення часток. Вихідна потужність стабільна в межах 1% понад 5,000 годин роботи, а спектральний профіль підібраний відповідно до поглинання води та поверхневих плівок — енергія спрямовується на випаровування, а не на нагрівання пластини.

SRD on Warm IR Patio Comfort

ІЧ лампа SRD (спін ринс драйер)