http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/tags/baking/ Recent content in Baking on Warm IR Patio Comfort Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 17:39:01 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/posts/photoresist-baking-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 17:39:01 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для випікання фоторезисту"></p> <p>На лінії літографії швидко вчишся: м’який випік, що коливається навіть на 0,3°C, проявиться у вигляді CD-біасу, а жорсткий випік, який не повторюється, закріпить це коливання на кожній пластині. Випік фотоплівки — це не просто термічна формальність. Це межа процесу. Коли лампа працює з пониженим виходом, ви не лише гасите відхилення — ви спалюєте брак і витрачаєте інженерний час на крок, який має бути стабільно передбачуваним.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Ми побудували лампу для випікання фотоплівки на основі нагрівання у ближньому інфрачервоному діапазоні (NIR). NIR подає енергію безпосередньо в шар фотоплівки, швидко, без нагрівання підкладки (chuck). Це забезпечує субміліметрову теплову однорідність по всій пластині й повторювані профілі випікання зміну за зміною. Результат — стабільні температури м’якого та жорсткого випікання, точніше керування CD і менша кількість переробок. Платформа готова до чистої кімнати, з матеріалами та ущільненнями, що знижують генерацію часток майже до нуля — без несподіванок у середовищах класу 1–100.</p>