http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/tags/%D0%B2%D0%B0%D1%84%D0%BB%D1%8F/ Recent content in Вафля on Warm IR Patio Comfort Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 01:16:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 03 Jun 2026 01:16:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/uk/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Безпечна відстань для нагрівання пластини"></p> <p>На літорафному поверсі 300mm пластина містить тисячі кристалів, і кожна секунда враховується у тепловий бюджет. М’яке випікання, що відхиляється навіть на 0,3°C, може змінити критичний розмір, а жорстке випікання з перегрівом по краю почне викликати появу осаду. Запас безпеки для нагрівання пластини — це не комфортна межа, а межа, що утримує вихід продукції від зниження.</p> <p><strong>Що має значення під капотом</strong></p> <p>Ми створюємо систему нагрівання з урахуванням ±0,1°C сталості однорідності по площині пластини в стаціонарному режимі, після чого перевіряємо її багатоточковим картографуванням у виробничих умовах. Гаряча зона використовує кварцово-галогенові випромінювачі, налаштовані на швидку та повторювану реакцію. Камера сумісна з чистими приміщеннями класу 1–100, виготовлена з матеріалів із низьким рівнем виділення газів, а ламінарний потік підтримує стабільну кількість частинок. Профілі випікання фоторезисту повторюються з точністю ±0,1°C від циклу до циклу, що забезпечує стабільність критичних розмірів і кута бічних стінок згідно зі специфікацією.</p>