
Aydınlatma lambalarının patlamasının üretimi nasıl bozduğunu anlayın
Yüksek kapasiteli yarı iletken üretim tesislerinde, bir aydınlatma lambasının patlaması sadece bir “bakım sorunu” değildir; bu, tam anlamıyla bir felakettir. Düşünün: Kuvars tüpü kırılırsa, cam parçaları ve tungsten iplikleri doğrudan waferlerin üzerine düşer. Tek bir kırılma bile tüm ürünlerin boşa gitmesine neden olur. İşte bu yüzden kızılötesi ısıtma sistemlerimizi, bu tür sorunların ürünlere zarar vermesini engelleyecek şekilde tasarlıyoruz.
Lambaların neden bozulduğu
Yüksek güçlü lambalar büyük baskı altındadır. Sürekli ısınıp soğudukları için malzemeye büyük bir yük biner. Eğer kuvarsta küçük bir kusur varsa veya ısı eşit şekilde dağılmazsa, tüp kırılır. Bu durumda her şey paramparça olur.
Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Isının geçmesine izin verirken aynı zamanda dayanıklılığı sağlayacak ideal duvar kalınlığını bulmak için çok zaman harcadık. Sadece gücü artırıp en iyisini ummak yerine, her bir tüpün işlemin gerektirdiği termal koşullara dayanabilmesi için özel olarak tasarlanmıştır.
Enkazın dışarıda kalması
Waferlerin temiz kalmasını sağlamak için basit bir fiziksel yöntem kullanıyoruz. Lambaları özel bir koruma kılıfı içinde yerleştiriyoruz. Bu kılıf, bir kalkan görevi görerek parçaların dışarı çıkmasını engeller. Tabii ki kırık lambayı değiştirmeniz gerekecek, ancak waferleriniz temiz kalacaktır.
Ayrıca bağlantı noktalarına da özen gösteriyoruz. Eğer bağlantı noktaları doğru şekilde yerleştirilmezse, ark oluşur. Bu da sıcak noktalara yol açar ve bu da erken arızalara neden olur. Elektriksel temasın sağlam olmasını sağlamak için dar toleranslı bağlantı elemanları kullanıyoruz.
Karşılaşılan zorluklar
Dürüst olmak gerekirse, koruma kılıfı eklemek kızılötesi ışının bir kısmının geçmesini engeller. Böylece doğrudan gelen ısı miktarında küçük bir azalma olur. Bunun telafisi için güç ayarlarını değiştirmeniz veya biraz daha fazla zaman ayırmanız gerekebilir. Ama dürüst olmak gerekirse, birkaç cam parçası yüzünden tüm ürünlerin imha edilmesiyle karşılaştırıldığında bu, ödenmesi gereken küçük bir bedeldir.