http://warm-ir-patio-comfort.com/th/tags/%E0%B8%AB%E0%B9%89%E0%B8%AD%E0%B8%87%E0%B8%9B%E0%B8%8F%E0%B8%B4%E0%B8%9A%E0%B8%B1%E0%B8%95%E0%B8%B4%E0%B8%81%E0%B8%B2%E0%B8%A3/ Recent content in ห้องปฏิบัติการ on Warm IR Patio Comfort Hugo th Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/th/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/th/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="เครื่องทำความร้อนสำหรับแห้งบนชิปทดลอง"></p> <p>บนพื้นที่ลิโธกราฟี คุณจะทราบดีว่ามันเป็นอย่างไร การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิต่ำกว่า 1°C ในระหว่างการอบแบบซอฟต์เบค อาจก่อให้เกิดข้อผิดพลาดในความกว้างของเส้นที่ตรวจพบได้เฉพาะในการวัดเมตโทโลยี การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเดียวกันนี้ยังสามารถทำให้กระบวนการอบแห้งเวเฟอร์เกิดปัญหาอนุภาคและข้อบกพร่องได้ เราจึงพัฒนา Lab-on-a-Chip Drying <a href="https://goldisgood.com">Heater</a> เพื่อหยุดการเปลี่ยนแปลงนี้ตั้งแต่ต้นทาง</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค</strong><br> แพลตฟอร์มนี้ใช้คลื่นอินฟราเรดสั้น ซึ่งขับเคลื่อนด้วยอาร์เรย์ตัวปล่อยแสงควอตซ์-ฮาโลเจน ระบบไพโรเมทรีแบบวงปิดช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งโซนทำงาน ความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิระหว่างชุดงานอยู่ที่ ±0.2°C ทำให้โปรไฟล์การอบโฟโต้เรซิสต์คงที่</p> <p>พร้อมใช้งานในห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 ด้วยพื้นผิวห้องทำจากสแตนเลส 316L วัสดุตามมาตรฐาน FM4910 และระบบลมไหลแบบลามินาร์ที่ควบคุมการเกิดอนุภาคเป็นศูนย์ในระหว่างรอบการทำงาน ฮีตเตอร์นี้สามารถเชื่อมต่อกับ SECS/GEM และทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงต่อวัน 7 วันต่อสัปดาห์ โดยมี MTBF มากกว่า 10,000 ชั่วโมง และอายุการใช้งานตัวปล่อยแสงมากกว่า 5,000 ชั่วโมง</p> <p>เหตุผลที่ทำงานได้ดีในจุดที่จำเป็น<br> อุปกรณ์นี้ออกแบบมาเพื่อขั้นตอนการอบแห้งของ Lab-on-a-Chip โดยเฉพาะ หลังจากกระบวนการ spin <a href="https://henruite.com">rinse</a> และก่อนการอบแบบ hard bake ช่วยอบแห้งโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหาย ไม่มีคราบตกค้าง และรักษาโปรไฟล์โฟโต้เรซิสต์ที่ตั้งค่าไว้ในช่วง soft bake</p> <p>สิ่งนี้ส่งผลให้ลดงานแก้ไขซ้ำ ความคงที่ของมิติสำคัญ และเพิ่มผลผลิตที่สามารถวางแผนได้ การใช้พลังงานต่ำจนสามารถตรวจจับได้ในระบบไฟฟ้า และขนาดตัวเครื่องกะทัดรัดพอที่จะติดตั้งร่วมกับเครื่องเคลือบและเครื่องติดตามได้</p> <p>สิ่งที่ต้องวางแผน<br> จำเป็นต้องใช้สายไฟฟ้ากำลังเฉพาะ 208–240 V, 16 A มวลความร้อนต่ำ แต่ช่วงอุ่นเครื่องจะมีการดึงโหลดสูงสุด ห้องทำงานรองรับตัวจับเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 150 mm และ 200 mm ส่วนขนาด 300 mm จำเป็นต้องใช้อุปกรณ์เสริมสำหรับตัวจับ</p>