วิธีที่ดีกว่าในการอุ่นเครื่องมือสำหรับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์
ตู้ควบคุมสภาพแวดล้อมสำหรับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่ยังคงใช้วิธีการเดิมๆ นั่นคือการใช้ความร้อนจากการถ่ายเทอากาศ หรือการใช้ความร้อนแบบต้านทาน ซึ่งหมายความว่าต้องใช้พลังงานมหาศาลเพื่ออุ่นอากาศภายในตู้ให้ร้อนขึ้น เพียงเพื่อให้ชิ้นส่วนหนึ่งมีอุณหภูมิที่เหมาะสม
เราได้ค้นพบวิธีที่ดีกว่า นั่นคือการใช้ความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้น
แทนที่จะใช้ความร้อนเพื่ออุ่นอากาศทั้งหมด ความร้อนแบบอินฟราเรดจะถูกส่งตรงไปยังชิ้นงานโดยตรง ซึ่งก็เหมือนกับการใช้เครื่องทำความร้อนเพื่ออุ่นบ้านทั้งหลัง เพื่ออุ่นมือเพียงอย่างเดียว คุณจะใช้พลังงานน้อยลงมาก เพราะคุณจะอุ่นเฉพาะสิ่งที่จำเป็นเท่านั้น
ความจำเป็นด้านความเร็ว
เมื่อเราเลือกอุปกรณ์สำหรับตู้ควบคุมสภาพแวดล้อม เราต้องคำนึงถึงอัตราการถ่ายเทความร้อน นั่นคือปริมาณความร้อนที่ได้ต่อตารางเซนติเมตร
ด้วยหลอดอินฟราเรดที่มีกำลังสูง การเพิ่มอุณหภูมิจะเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว คือใช้เวลาเพียงไม่กี่วินาทีเท่านั้น นั่นหมายความว่าเครื่องมือของคุณจะไม่ต้องรอนานเพื่อให้มีอุณหภูมิที่เหมาะสม
เรื่องวัสดุ
เราใช้ภาชนะที่ทำจากควอตซ์พร้อมการเคลือบพิเศษ เพื่อควบคุมสเปกตรัมของความร้อน นี่เป็นสิ่งสำคัญมาก เพราะความร้อนแบบอินฟราเรดคลื่นสั้นจะซึมเข้าไปในวัสดุได้ลึกกว่า ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับวัสดุที่ใช้ในห้องสะอาด
ส่วนเรื่องอุปกรณ์ต่างๆ ไม่ว่าคุณจะเลือกใช้อุปกรณ์แบบ R7s หรืออุปกรณ์สำหรับโรงงานอุตสาหกรรม คุณควรเลือกอุปกรณ์ที่สามารถเปลี่ยนได้อย่างรวดเร็วเมื่ออุปกรณ์เสียหาย และหากคุณทำงานกับก๊าซที่กัดกร่อนหรืออากาศที่มีความชื้นสูง ควรเลือกอุปกรณ์ที่มีการเคลือบทอง เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการออกซิเดชัน ซึ่งจะส่งผลเสียต่อค่าความต้านทานไฟฟ้า
ข้อเสียของการใช้ความร้อนแบบอินฟราเรด
ไม่มีอะไรที่สมบูรณ์แบบเลย
การใช้ความร้อนแบบอินฟราเรดนั้นดีต่อโลกและต่อค่าไฟฟ้าของคุณ เพราะคุณจะใช้พลังงานน้อยลง แต่มีข้อเสียอยู่อย่างหนึ่ง นั่นคือความร้อนแบบอินฟราเรดมีลักษณะเป็นลำแสง ไม่ใช่ความร้อนที่กระจายตัวไปทั่ว
หากตู้ควบคุมสภาพแวดล้อมมีโครงสร้างที่ซับซ้อน คุณก็ไม่สามารถเพียงแค่วางหลอดอินฟราเรดลงไปแล้วคาดหวังว่าทุกอย่างจะมีอุณหภูมิเท่ากันได้ คุณต้องวางหลอดอินฟราเรดในตำแหน่งที่เหมาะสม มิฉะนั้นก็จะมีบริเวณที่มีอุณหภูมิต่ำเกินไป
นอกจากนี้ คุณต้องระวังอย่าให้กำลังไฟฟ้าสูงเกินไป หากคุณเพิ่มกำลังไฟฟ้ามากเกินไปโดยไม่มีการป้องกันที่เหมาะสม อาจทำให้หน้าต่างโพลิเมอร์ละลายหรือทำให้ซีลเสียหายได้ ดังนั้นคุณต้องหาจุดสมดุลระหว่างความร้อนที่เพียงพอกับความสามารถของตู้ควบคุมสภาพแวดล้อมด้วย