Сушка on Warm IR Patio Comfort

Энергетический аудит для сушильных установок

Fri, 24 Jul 2026 08:59:42 +0800

Прекратите разрушение пластин: защитите их от повреждений из-за неисправностей ламп
Честно говоря, поломка инфракрасной лампы на производстве – это не просто проблема с техническим обслуживанием. Это настоящий кошмар. Когда кварцевая трубка разрушается под сильной нагрузкой, вы теряете не только саму лампу, но и сталкиваетесь с опасностью осколков стекла и вольфрамовых нитей, которые падают прямо на пластины. Так можно потерять целую партию продукции за считанные секунды. Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения этого в процессе сушки.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Wed, 15 Jul 2026 13:42:23 +0800

Не позволяйте процессу сушки стать источником проблем
Когда вы сушите пластины датчиков MEMS после химической обработки, вы подвергаете себя опасности. Нагревательные элементы находятся прямо среди легковоспламеняющихся и взрывоопасных паров.

Стандартные инфракрасные лампы? Забудьте о них. Одна маленькая искра или трещина в корпусе может привести к катастрофе. Поэтому мы используем специальный тип упаковки для наших инфракрасных ламп. Таким образом мы защищаем электронные компоненты от воздействия химикатов, чтобы можно было спать спокойно.

Детали, связанные с упаковкой и материалами
Для изготовления корпуса мы используем кварцевое стекло высокой чистоты. Оно прочное и может выдерживать резкие изменения температуры без повреждений.

Лабораторная сушилка на чипе

Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800

На литографическом этаже вы знаете, как это бывает. Колебание температуры менее 1°C во время мягкого запекания может незаметно привести к ошибке ширины линии, которая проявляется только при метрологии. Тот же тепловой дрейф может превратить сушку пластин в проблему с частицами и дефектами. Мы создали Lab-on-a-Chip Drying Heater, чтобы остановить этот дрейф в самом начале.

Что важно с технической точки зрения
Платформа основана на коротковолновом инфракрасном излучении, обеспечиваемом массивом кварцево-галогенных излучателей. Пирометрия с замкнутым контуром поддерживает тепловую однородность на уровне пластин с точностью ±0,1°C по активной зоне. Повторяемость температуры от партии к партии составляет ±0,2°C, что обеспечивает стабильность профиля запекания фоторезиста.
Устройство готово к использованию в чистых помещениях классов 1–100: поверхности камеры из нержавеющей стали 316L, материалы с рейтингом FM4910 и ламинарный поток воздуха, который исключает генерацию частиц во время цикла. Нагреватель интегрируется с SECS/GEM и работает круглосуточно, среднее время наработки на отказ превышает 10 000 часов, срок службы излучателей более 5 000 часов.