Лабораторная сушилка на чипе

Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800

На литографическом этаже вы знаете, как это бывает. Колебание температуры менее 1°C во время мягкого запекания может незаметно привести к ошибке ширины линии, которая проявляется только при метрологии. Тот же тепловой дрейф может превратить сушку пластин в проблему с частицами и дефектами. Мы создали Lab-on-a-Chip Drying Heater, чтобы остановить этот дрейф в самом начале.

Что важно с технической точки зрения
Платформа основана на коротковолновом инфракрасном излучении, обеспечиваемом массивом кварцево-галогенных излучателей. Пирометрия с замкнутым контуром поддерживает тепловую однородность на уровне пластин с точностью ±0,1°C по активной зоне. Повторяемость температуры от партии к партии составляет ±0,2°C, что обеспечивает стабильность профиля запекания фоторезиста.
Устройство готово к использованию в чистых помещениях классов 1–100: поверхности камеры из нержавеющей стали 316L, материалы с рейтингом FM4910 и ламинарный поток воздуха, который исключает генерацию частиц во время цикла. Нагреватель интегрируется с SECS/GEM и работает круглосуточно, среднее время наработки на отказ превышает 10 000 часов, срок службы излучателей более 5 000 часов.

Лаборатория on Warm IR Patio Comfort

Лабораторная сушилка на чипе