Na linii produkcyjnej zmiana temperatury podczas procesu pieczenia fotoopornika o 1°C wystarczy, aby zmienić szerokość linii na chipie. Nierównomierny proces suszenia? To właśnie powoduje pojawienie się „znaków wodnych”, które negatywnie wpływają na efektywność produkcji. W nowoczesnych zakładach produkcyjnych stosujemy systemy grzania w poszczególnych strefach, aby uniknąć takich problemów już na początkowym etapie.
Co naprawdę jest ważne z punktu widzenia technicznego? Stosujemy niezależną kontrolę temperatury w poszczególnych strefach, przy użyciu halogenów lub promieniowania NIR. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na poziomie chipa w przedziale ±0,1°C przez cały okres procesu. Sprzęt znajduje się w pomieszczeniach klasy 1–100, co zapewnia brak cząsteczek – co potwierdza monitoring w czasie rzeczywistym oraz wybór materiałów o niskiej emisji gazów.
Powtarzalność procesu jest zachowana dzięki sensormom typu zamkniętego obwodu oraz precyzyjnemu sterowaniu parametrami procesu. Procesy pieczenia i utwardzania zachodzą w taki sam sposób za każdym razem. Zużycie energii also spada – strefy grzewcze grzeją tylko te elementy, które tego potrzebują, a profile temperatury są stałe.
Dlaczego to jest kluczowe? W litografii system grzania w poszczególnych strefach zapewnia stabilną temperaturę podczas procesu pieczenia fotoopornika, dzięki czemu lepkość i właściwości powłoki pozostają stabilne, a kontrola rozmiaru chipa nie ulega zmianom.
Podczas czyszczenia i suszenia chipów system niezależnego sterowania temperaturą eliminuje nadmiar płynu na krawędziach chipów oraz „znaki wodne”. Dzięki temu suszenie następuje szybciej, bez efektu szoku termicznego.
W procesie pakowania system ten umożliwia szybkie i równomierne utwardzanie materiałów używanych do wypełniania szczelin między chipami a obudową. Czas realizacji procesu się skraca, a jednocześnie zachowuje się stabilność przyklejenia i brak pustych przestrzeni w strukturze chipa. Rezultatem jest mniejsza ilość odpadów, stabilna kontrola jakości oraz możliwość planowania wydajności produkcji.
Co należy wiedzieć z góry? Aby zainstalować system grzania w poszczególnych strefach w istniejących urządzeniach, konieczna jest dostosowanie geometrii komory, elementów kwarcowych oraz systemów odpylania. Należy też uwzględnić krótki okres integracji oraz konieczność kalibracji urządzeń.
Trzeba poświęcić nieco miejsca na instalację dodatkowych kontrolerów i sensorów. Jednak dzięki temu uzyskuje się lepszą kontrolę temperatury w całej linii produkcyjnej oraz większą wydajność.