http://warm-ir-patio-comfort.com/nl/tags/wafer/ Recent content in Wafer on Warm IR Patio Comfort Hugo nl Sun, 28 Jun 2026 01:14:52 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/nl/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Sun, 28 Jun 2026 01:14:52 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/nl/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Gezonificeerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken"></p> <p>Op de productielijn is een verschil van 1°C in de temperatuur tijdens het bakken van de photoresist al voldoende om de dikte van de coatings te veranderen. Een oneffen droogingscyclus? Dat leidt tot problemen die de productiegraad negatief beïnvloeden. In geavanceerde fabrieken gebruiken we zonegebonden verwarming om deze afwijkingen al op hun bron te voorkomen.</p> <p><strong>Wat technisch gezien echt belangrijk is:</strong><br> We maken gebruik van een aparte controle voor elke zone, met behulp van halogeen- of NIR-technologie. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van de wafers binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. De apparatuur bevindt zich in schoonruimtes van klasse 1–100, zodat er geen deeltjes vrijkomen. Dit wordt gecontroleerd door in-situ <a href="https://o-yate.com">monitoring</a> en door het gebruik van materialen die weinig gassen afgeven.</p>