Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

On the fab floor, kitaran SRD adalah di mana hasil diperoleh—atau hilang secara senyap. Pembilasan yang meninggalkan titisan mikro, atau pengeringan yang menyebabkan tekanan terbina pada wafer, berubah menjadi kecacatan dan bahan buangan. Lampu inframerah dalam Spin Rinse Dryer anda bukan sekadar sumber haba. Ia adalah penggerak terma yang menetapkan sempadan pengeringan. Jika output berubah atau keseragaman terganggu, kebolehulangan yang anda harapkan dalam litografi dan pemprosesan fotoresist turut terjejas.

Ini yang kami bina pada lampu inframerah SRD: pemancar NIR gelombang pendek dalam ampul kuarza tindak balas pantas, ditala untuk kenaikan terma cepat dan kawalan keadaan mantap yang ketat. Anda mendapat keseragaman suhu pada tahap wafer dalam ±0.1°C merentasi tetingkap pengeringan, dan pemulihan dalam masa sub-saat selepas pembilasan berubah. Perhimpunan ini dinilai untuk penggunaan bilik bersih Kelas 1–100, dengan bahan rendah pengeluaran gas dan geometri direka untuk mengurangkan pelepasan zarah. Output kekal dalam lingkungan 1% bagi lebih 5,000 jam, dan profil spektrum disesuaikan dengan penyerapan air dan filem permukaan—supaya tenaga digunakan untuk pengewapan, bukan memanaskan wafer.

Pengering) on Warm IR Patio Comfort

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)