Lampu inframerah yang kalis air untuk proses pencucian.

Sat, 20 Jun 2026 01:50:08 +0800

Di atas bangku yang basah, proses pembilasan merupakan masa di mana kualiti produk berkurangan secara perlahan-lahan. Adakah suhu yang terlalu sejuk atau tidak seragam semasa proses pembilasan? Itulah sebabnya timbulnya kesan air, zarah-zarah yang melekat pada permukaan wafer, serta tekanan yang tidak dapat dikawal. Apa yang diperlukan ialah haba yang stabil, terkawal, dan bersih.

Ketepatan Pemanasan Inframerah: Keseragaman dan Kebolehulangan pada Tahap Sub-Millimeter
Kami menggunakan lampu inframerah yang tahan air, yang mampu menghasilkan medan haba yang stabil dengan ketepatan sub-millimeter. Dengan cara ini, suhu wafer akan tetap stabil dari satu sesi ke sesi yang lain. Cahaya inframerah gelombang pendek memanaskan objek dengan cepat, dan ini memudahkan kawalan suhu yang tepat. Angka-angka menunjukkan bahawa keseragaman suhu wafer adalah dalam lingkungan ±0.1°C, dan kebolehulangan proses pemanasan juga tinggi.

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

On the fab floor, kitaran SRD adalah di mana hasil diperoleh—atau hilang secara senyap. Pembilasan yang meninggalkan titisan mikro, atau pengeringan yang menyebabkan tekanan terbina pada wafer, berubah menjadi kecacatan dan bahan buangan. Lampu inframerah dalam Spin Rinse Dryer anda bukan sekadar sumber haba. Ia adalah penggerak terma yang menetapkan sempadan pengeringan. Jika output berubah atau keseragaman terganggu, kebolehulangan yang anda harapkan dalam litografi dan pemprosesan fotoresist turut terjejas.

Ini yang kami bina pada lampu inframerah SRD: pemancar NIR gelombang pendek dalam ampul kuarza tindak balas pantas, ditala untuk kenaikan terma cepat dan kawalan keadaan mantap yang ketat. Anda mendapat keseragaman suhu pada tahap wafer dalam ±0.1°C merentasi tetingkap pengeringan, dan pemulihan dalam masa sub-saat selepas pembilasan berubah. Perhimpunan ini dinilai untuk penggunaan bilik bersih Kelas 1–100, dengan bahan rendah pengeluaran gas dan geometri direka untuk mengurangkan pelepasan zarah. Output kekal dalam lingkungan 1% bagi lebih 5,000 jam, dan profil spektrum disesuaikan dengan penyerapan air dan filem permukaan—supaya tenaga digunakan untuk pengewapan, bukan memanaskan wafer.

Bilas on Warm IR Patio Comfort

Lampu inframerah yang kalis air untuk proses pencucian.

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)