http://warm-ir-patio-comfort.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Warm IR Patio Comfort Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 01:16:22 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 03 Jun 2026 01:16:22 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p>리소그래피 작업장에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 다이가 실리며, 매 순간이 열 예산에 영향을 미친다. 0.3°C만큼의 소프트 베이크 온도 변동도 크리티컬 치수를 변화시킬 수 있고, 가장자리에서 온도가 과도한 하드 베이크는 스커밍 현상을 초래한다. 웨이퍼 가열 시 안전 거리는 여유 공간이 아니라 수율 저하를 방지하는 기준선이다.</p>