http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/tags/srd/ Recent content in SRD on Warm IR Patio Comfort Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/srd-spin-rinse-dryer-infrared-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="SRD スピンリンスドライヤー 赤外線ランプ"></p> <p>Fabフロアでは、SRDサイクルが歩留まりを生み出す場所であると同時に、静かに歩留まりを低下させる場所でもある。マイクロドロップレットを残すリンスや、ウェハーに応力を焼き込む乾燥は、欠陥やスクラップにつながる。Spin Rinse Dryerの赤外線ランプは単なる熱源ではない。これは乾燥境界を設定する熱アクチュエーターである。出力が変動したり均一性が崩れたりすると、リソグラフィやフォトレジスト処理で必要とされる再現性が失われる。</p>