http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/tags/nir/ Recent content in NIR on Warm IR Patio Comfort Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:13:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Fri, 26 Jun 2026 01:13:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="近赤外線 NIR ウェーハ乾燥装置"></p> <p>ファブの現場では、ウェーハ上での温度変動が0.1°Cでもあれば、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子数も増加してしまいます。通常のホットプレートや対流式オーブンでは、ソフトベイクやハードベイクの過程で温度の均一性を保つのが難しく、ガス放出やレジストの表面問題が<a href="https://o-yate.com">発生</a>しやすくなります。これこそが、近赤外線を利用したウェーハ乾燥装置が開発された理由です。この装置によって、そのような制約を解決できるのです。</p>