http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/tags/%E7%9B%A3%E6%9F%BB/ Recent content in 監査 on Warm IR Patio Comfort Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 08:59:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-drying-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 08:59:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-drying-lamps/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="製造工程における乾燥処理のエネルギー審査"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐランプの故障からウェーハを守る">シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る</h1> <p>正直に言って、ファブ内で赤外線ランプが破損するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは本当の悪夢です。<br> 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に電球が壊れるだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。そうなると、数秒で一括してウェーハが破壊されてしまいます。私たちは、乾燥工程でこのような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。</p>