http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/tags/%E4%B9%BE%E7%87%A5/ Recent content in 乾燥 on Warm IR Patio Comfort Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 08:59:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-drying-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 08:59:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-safety-design-for-high-load-fab-drying-lamps/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="製造工程における乾燥処理のエネルギー審査"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐランプの故障からウェーハを守る">シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る</h1> <p>正直に言って、ファブ内で赤外線ランプが破損するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは本当の悪夢です。<br> 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に電球が壊れるだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。そうなると、数秒で一括してウェーハが破壊されてしまいます。私たちは、乾燥工程でこのような事態を防ぐ方法を長い間研究してきました。</p> http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 15 Jul 2026 13:42:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <h1 id="乾燥プロセスがリスクにならないようにしましょう">乾燥プロセスがリスクにならないようにしましょう</h1> <p>化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、それは非常に危険な<a href="https://o-yate.net">作業</a>です。加熱装置が可燃性・爆発性の蒸気の真ん中にあるのです。<br> 通常の赤外線ランプではダメです。わずかな火花やハウジングの微小なひび割れでも、大惨事につながります。そこで、私たちは特別な封止処理を施した赤外線ランプを作っています。これにより、電気部品を化学物質から隔離でき、安心して夜も眠れます。</p> http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/ja/posts/lab-on-a-chip-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="チップ上のラボ乾燥ヒーター"></p> <p>リソグラフィ工程では、状況はよく理解されている。ソフトベイク中の1℃未満の温度変動が、メトロロジーでしか<a href="https://goldisgood.com">検出</a>されないライン幅の誤差を静かに引き起こす可能性がある。同様の熱変動は、ウェハーの乾燥工程をパーティクルや欠陥問題に変えることがある。Lab-on-a-Chip Drying Heaterは、その熱変動を発生源で抑制するために設計された。</p>