ウェーハの汚染を未然に防ぐこと
バイオセンサーの製造において、ランプが故障するだけでは問題ありません。それは大災害です。一度故障すれば、そのチャンバー内のすべてのウェーハが無駄になってしまいます。
高負荷の加熱処理を行う際、クォーツ製の外装は熱応力によって損傷を受けます。もし管が割れてしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスが基板に降り注ぎます。私たちは、そうした事態を防ぐために特別に設計された赤外線ランプを使用しています。
汚れを内部に閉じ込める
私たちは、激しい温度変化にも耐えられる強化クォーツを使用しています。しかし、それだけではありません。さらに、保護用のカバーも追加しました。これにより、フィラメントが壊れたりクォーツが割れたりしても、破片が外部に飛び出さないようになります。ウェーハに何も落ちず、歩留まりも維持されます。それだけ簡単です。
熱対策
高負荷の生産では「ホットスポット」が発生します。ガラスが過度に熱くなると、柔らかくなってしまいます。これを解決するため、私たちは管全体にわたって電力を均等に分配し、危険な温度上昇を防ぎます。また、精密な電極を使用してアークを安定させています。
ただし、常にランプを最大限に稼働させ続けると、クォーツが疲労してしまいます。これは物理学の法則です。定期的にランプを交換することが重要です。計画的に交換する方が、予期せぬ停止による損失を避けるためにはずっと良いでしょう。
クリーンルームでの使用
また、不要な物質も取り除きました。燃焼開始後の数時間以内に蒸発しうる揮発性の接着剤やフラックスは一切使用しません。これにより、真空状態や制御された雰囲気が維持されます。
配線する際のヒントとして、冷却ファンがランプの端から熱を逃がすようにしてください。接続部が過熱したり、ガラスが急激な温度差にさらされたりすると、割れてしまいます。冷却を徹底すれば、ランプも正常に動作します。