Sensor di temperatura per strumento a wafer

Sat, 18 Jul 2026 01:39:18 +0800

Come ottenere la giusta temperatura del wafer nella fabbrica intelligente
Se state costruendo una fabbrica intelligente, probabilmente avrete capito che aspettare che qualcosa si rompa prima di ripararlo è un incubo. È necessario poter vedere cosa sta succedendo in questo momento. Ecco dove entrano in gioco i sistemi a infrarossi. Li utilizziamo perché ci permettono di rilevare la distribuzione del calore sul wafer senza doverlo toccare affatto. Nessun contatto, nessuna contaminazione. Semplice.

Perché il metodo senza contatto è importante
Pensate al vecchio metodo: i termocoppie. Devono essere a contatto con la superficie del wafer, il che comporta dei rischi: si può verificare uno stress meccanico, o peggio ancora, particelle possono finire direttamente sul substrato.
Con la pirometria a infrarossi, invece, possiamo semplicemente “osservare” la radiazione termica emessa dal wafer. È un metodo più pulito. Questi sensori producono segnali che vengono inviati direttamente al sistema PLC o SCADA. In questo modo si ottiene una mappa termica in tempo reale. È l’unico modo per individuare quei “punti freddi” che possono causare problemi durante i processi termici veloci.

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Sensor di temperatura per strumento a wafer