Lampada a infrarossi impermeabile per sciacquo

Sat, 20 Jun 2026 01:50:08 +0800

Sulla piattaforma bagnata, la fase di sciacquaggio è proprio quella in cui la qualità del prodotto diminuisce silenziosamente. Un punto freddo o una temperatura irregolare durante il processo di essiccazione? È così che si creano delle macchie d’acqua, delle particelle che rimangono attaccate alla superficie del wafer, e uno stress sul fotoresist che non è possibile controllare. Quello di cui si ha bisogno è un calore preciso, localizzato e uniforme.

Precisione del riscaldamento a infrarossi: uniformità e ripetibilità su scala sub-millimetrica
Utilizziamo lampade a infrarossi resistenti all’acqua, capaci di creare un campo termico stabile con un controllo spaziale su scala sub-millimetrica. In questo modo, la temperatura del wafer segue sempre lo stesso profilo, ciclo dopo ciclo. Le lampade a onde corte riscaldano rapidamente, con una bassa massa termica, il che permette un controllo preciso della temperatura. I risultati sono ottimi: un’uniformità della temperatura entro ±0,1°C, e una ripetibilità elevata tra i diversi cicli di lavorazione.

Sciacqua on Warm IR Patio Comfort

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