Come sostituire la lampada del riscaldatore RTP

Sat, 06 Jun 2026 00:59:54 +0800

Out on the line, una camera RTP è in attesa in coda. Una lampada inizia a segnalare un malfunzionamento, la temperatura devia e la cottura del fotoresist si sposta fuori dalla traiettoria prevista. Si osservano variazioni nelle larghezze di linea mentre il planning si fa più stretto. Abbiamo progettato le nostre lampade di sostituzione per intercettare questa deriva prima che comporti costi.

Cosa conta, tecnicamente
Specifichiamo emettitori alogeni a onda corta con uscita NIR ottimizzata per una risposta termica rapida. La geometria del filamento e l’involucro in quarzo sono studiati per mantenere l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C lungo l’intervallo di processo. Densità di potenza e tensione sono adattate al budget termico della tua camera, mentre l’ingombro meccanico è compatibile con i supporti e connettori lampada standard. In pratica, questo mantiene i profili di soft bake e hard bake stabili sul setpoint, con ripetibilità costante da ciclo a ciclo.

RTP on Warm IR Patio Comfort

Come sostituire la lampada del riscaldatore RTP