Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

Di lantai fab, siklus SRD adalah titik di mana hasil produksi terbentuk—atau perlahan menurun tanpa disadari. Pembilasan yang meninggalkan mikro-tetesan, atau pengeringan yang menghasilkan tegangan pada wafer, berubah menjadi cacat dan limbah. Lampu inframerah pada Spin Rinse Dryer Anda bukan sekadar sumber panas. Itu adalah aktuator termal yang menentukan batas pengeringan. Jika output melenceng atau keseragaman terganggu, repeatability yang Anda andalkan dalam litografi dan proses photoresist ikut hilang.

Inilah yang kami kembangkan pada lampu inframerah SRD: pemancar NIR gelombang pendek dalam selubung kuarsa berrespons cepat, disetel untuk kenaikan suhu yang cepat dan kontrol keadaan mantap yang ketat. Anda mendapatkan keseragaman suhu di tingkat wafer dalam kisaran ±0,1°C di seluruh jendela pengeringan, serta pemulihan dalam waktu kurang dari satu detik setelah transien pembilasan. Rakitan ini diklasifikasikan untuk penggunaan di ruang bersih Kelas 1–100, menggunakan material dengan pelepasan gas rendah dan geometri yang dirancang untuk mengurangi pelepasan partikel. Output tetap dalam toleransi 1% selama lebih dari 5.000 jam, dan profil spektralnya disesuaikan dengan penyerapan air dan lapisan permukaan—sehingga energi diarahkan ke evaporasi, bukan pemanasan wafer.

SRD on Warm IR Patio Comfort

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)