Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Wed, 15 Jul 2026 13:42:23 +0800

Jangan Biarkan Proses Pengeringan Menjadi Masalah Bagi Anda

Ketika Anda mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan kimia, Anda sedang memainkan permainan yang berbahaya. Elemen pemanas berada tepat di tengah-tengah uap yang mudah terbakar dan meledak.

Lampu inframerah biasa? Lupakan saja. Satu percikan kecil atau retakan kecil pada kemasan lampu tersebut saja sudah cukup untuk menyebabkan bencana. Itulah sebabnya kami membuat lampu inframerah ini dengan lapisan pelindung khusus. Dengan cara ini, bagian elektriknya terpisah dari bahan-bahan kimia, sehingga Anda bisa tidur dengan tenang.

Pemanas pengering lab on a chip

Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800

Di lantai litografi, Anda sudah paham bagaimana prosesnya berjalan. Perubahan suhu kurang dari 1°C saat soft bake bisa secara diam-diam mencetak kesalahan lebar garis yang baru terlihat saat metrologi. Pergeseran termal yang sama dapat mengubah pengeringan wafer menjadi masalah partikel dan cacat. Kami merancang Lab-on-a-Chip Drying Heater untuk menghentikan pergeseran itu sejak awal.

Apa yang penting secara teknis
Platform ini menggunakan inframerah gelombang pendek, digerakkan oleh array emitter kuarsa-halogen. Pyrometri loop tertutup menjaga keseragaman termal level wafer pada ±0,1°C di seluruh zona aktif. Repetabilitas suhu antar batch mencapai ±0,2°C, sehingga profil pemanggangan photoresist Anda tetap terjaga.

Mengeringkan on Warm IR Patio Comfort

Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS

Jangan Biarkan Proses Pengeringan Menjadi Masalah Bagi Anda

Pemanas pengering lab on a chip