Lampu inframerah tahan air untuk proses pembersihan.

Sat, 20 Jun 2026 01:50:08 +0800

Pada meja pembersihan yang basah, proses pencucian inilah yang menyebabkan penurunan kualitas produk secara perlahan. Adakah area dingin atau suhu yang tidak merata selama proses pengeringan? Itulah penyebab munculnya noda air, partikel-partikel yang menempel pada permukaan wafer, serta tekanan pada lapisan fotoresist yang sulit dikendalikan. Yang dibutuhkan adalah panas yang konsisten, terkontrol dengan baik, dan bersih.

Akurasi Pemanasan Inframerah: Keseragaman dan Ketepatan di Bawah Satu Millimeter
Kami menggunakan lampu inframerah tahan air yang menghasilkan medan termal yang stabil, dengan kontrol spasial hingga tingkat sub-millimeter. Dengan demikian, suhu wafer akan tetap sesuai dengan profil yang diinginkan, dari satu siklus ke siklus berikutnya. Sinar inframerah berfrekuensi rendah memungkinkan pemanasan yang cepat, dengan massa termal yang rendah, sehingga proses pengeringan berjalan lebih cepat dan kontrolnya lebih akurat. Angka-angka menunjukkan bahwa keseragaman suhu pada tingkat wafer mencapai ±0,1°C, dan ketepatan proses tetap terjaga dari satu batch ke batch lainnya.

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

Di lantai fab, siklus SRD adalah titik di mana hasil produksi terbentuk—atau perlahan menurun tanpa disadari. Pembilasan yang meninggalkan mikro-tetesan, atau pengeringan yang menghasilkan tegangan pada wafer, berubah menjadi cacat dan limbah. Lampu inframerah pada Spin Rinse Dryer Anda bukan sekadar sumber panas. Itu adalah aktuator termal yang menentukan batas pengeringan. Jika output melenceng atau keseragaman terganggu, repeatability yang Anda andalkan dalam litografi dan proses photoresist ikut hilang.

Inilah yang kami kembangkan pada lampu inframerah SRD: pemancar NIR gelombang pendek dalam selubung kuarsa berrespons cepat, disetel untuk kenaikan suhu yang cepat dan kontrol keadaan mantap yang ketat. Anda mendapatkan keseragaman suhu di tingkat wafer dalam kisaran ±0,1°C di seluruh jendela pengeringan, serta pemulihan dalam waktu kurang dari satu detik setelah transien pembilasan. Rakitan ini diklasifikasikan untuk penggunaan di ruang bersih Kelas 1–100, menggunakan material dengan pelepasan gas rendah dan geometri yang dirancang untuk mengurangi pelepasan partikel. Output tetap dalam toleransi 1% selama lebih dari 5.000 jam, dan profil spektralnya disesuaikan dengan penyerapan air dan lapisan permukaan—sehingga energi diarahkan ke evaporasi, bukan pemanasan wafer.

Bilas on Warm IR Patio Comfort

Lampu inframerah tahan air untuk proses pembersihan.

Lampu inframerah SRD (Spin Rinse Dryer)