Mencegah Kontaminasi Wafer Sebelum Terjadi
Dalam proses pembuatan biosensor, kerusakan pada salah satu lampu bukanlah hal yang sepele. Itu merupakan bencana besar. Jika satu lampu rusak, maka semua wafer yang ada di dalam ruangan tersebut akan menjadi tidak bisa digunakan lagi.
Ketika proses pemanasan dilakukan dengan beban tinggi, lapisan kuarsa yang digunakan akan mengalami tekanan termal yang sangat besar. Jika tabung tersebut pecah, pecahan kaca dan gas halogen akan jatuh ke permukaan wafer. Kami merancang lampu inframerah khusus agar hal ini tidak terjadi.
Mengendalikan Masalah Kotoran
Kami menggunakan kuarsa yang berkualitas tinggi sehingga mampu bertahan dari tekanan termal yang ekstrem. Namun, kami belum berhenti di situ saja. Kami juga menambahkan lapisan pelindung sebagai “jaring pengaman”. Jika filamen lampu rusak atau kuarsanya pecah, lapisan pelindung ini akan menahan serpihan-serpihan tersebut. Dengan demikian, tidak ada yang jatuh ke permukaan wafer, sehingga kualitas wafer tetap terjaga.
Mengatasi Masalah Panas
Masalahnya adalah, produksi dengan beban tinggi dapat menyebabkan munculnya “titik panas”. Jika suhu kaca terlalu tinggi, kaca tersebut akan melemah. Untuk mengatasi hal ini, kami menyeimbangkan daya listrik yang masuk ke seluruh bagian tabung, sehingga tidak ada titik panas yang berbahaya. Kami juga menggunakan elektroda yang akurat untuk menjaga stabilitas arus listrik.
Namun, perlu diingat bahwa jika lampu tersebut terus difungsikan hingga batas maksimalnya, kuarsanya akan cepat aus. Itu merupakan hukum fisika. Pantau frekuensi penggunaan lampu tersebut, dan gantilah lampu tersebut sesuai jadwal yang ditentukan. Lebih baik menghabiskan sepuluh menit untuk mengganti lampu tersebut daripada harus menghadapi masa downtime yang tidak terduga.
Membuat Lampu Bekerja dengan Baik di Ruang Bersih
Kami juga menghilangkan bahan-bahan yang berpotensi menyebabkan kontaminasi, seperti bahan perekat atau zat lain yang mudah menguap selama beberapa jam pertama penggunaan lampu. Dengan demikian, kondisi vakum atau atmosfer di ruang bersih tetap terjaga.
Tips tambahan: Pastikan kipas pendingin berfungsi dengan baik untuk mengeluarkan panas dari ujung-ujung lampu. Jika konektor lampu menjadi terlalu panas, atau jika suhu kaca berfluktuasi secara drastis, lampu tersebut akan mudah rusak. Pertahankan suhu lampu tetap stabil, agar lampu dapat berfungsi dengan baik.