Comment remplacer la lampe chauffante RTP

Sat, 06 Jun 2026 00:59:54 +0800

Sur la ligne, une chambre RTP est en attente. Une lampe commence à faiblir, la température dérive et la cuisson du photoresist déraille. Vous observez les largeurs de ligne commencer à fluctuer tandis que le planificateur se resserre. Nous avons conçu nos lampes de remplacement pour corriger cette dérive avant qu’elle ne vous coûte.

Ce qui compte, techniquement
Nous spécifions des émetteurs halogènes à ondes courtes avec une sortie NIR réglée pour une réponse thermique rapide. La géométrie du filament et l’enveloppe en quartz sont travaillées pour maintenir l’uniformité thermique au niveau du wafer dans une plage de ±0,1°C à travers la fenêtre de processus. La densité de puissance et la tension sont adaptées au budget thermique de votre chambre, et l’encombrement mécanique s’intègre directement dans des supports de lampe et des connecteurs standard. En pratique, cela maintient les profils de cuisson douce et de cuisson dure sur le point de consigne, avec une répétabilité qui reste serrée d’un run à l’autre.

Comment on Warm IR Patio Comfort

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