دیگر نیازی نیست منتظر گرم شدن دستگاههای گرمایشی باشید؛ چرا که روش تابش مادون قرمز، بهتر از روش هوای فشرده برای گرم کردن ویفرها است.
اگر تجربه کار در فرآیندهای پیچیده نیمههادی را دارید، میدانید که صبر کردن چقدر آزاردهنده است.
بیشتر ما به استفاده از هوای فشرده عادت داریم؛ یعنی گاز داغ را روی سطح ویفر میپاشیم و امیدواریم که این گرما به درون سیلیکون نفوذ کند. اما مشکل اینجاست که این روش خیلی آهسته است؛ باید منتظر بمانیم تا هوا گرم شود، و سپس منتظر بمانیم تا گرما واقعاً به درون سیلیکون نفوذ کند. این کار مانند صبر کردن تا رنگ خشک شود، در حالی که زمان تولید در حال گذر است، است.
راز این روش، عدم استفاده از هوا به عنوان واسطه، است.
در روش تابش مادون قرمز، ما از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکنیم؛ این کار با سرعت نور انجام میشود. نیازی نیست منتظر بمانیم تا محیط گرم شود؛ کافی است کلید را فعال کنیم و ویفر بلافاصله انرژی مورد نیاز را دریافت کند.
برای یک مهندس، این یک مزیت بزرگ است؛ اگر روش قدیمی باعث شود ۱۰ دقیقه طول بکشد تا ویفر گرم شود، سیستم تابش مادون قرمز میتواند این کار را در چند ثانیه انجام دهد. این یعنی زمان زیادی که پس میگیریم.
حفظ ثبات دما
البته، سرعت خطرناک است اگر نتوان آن را کنترل کرد؛ هیچ کس نمیخواهد به دلیل افزایش ناگهانی دما، محصولات خود را از بین ببرد.
به همین دلیل از سنسورهای مادون قرمز برای کنترل مداوم دما استفاده میکنیم؛ این سیستم دمای سطح ویفر را به صورت لحظهای زیر نظر داشته و توان مورد نیاز را تنظیم میکند. این کار باعث میشود که فرآیند تولید به خوبی انجام شود. در این حرفه، اختلاف دمای ۵ درجه میتواند همه چیز را خراب کند؛ بنابراین داشتن چنین سیستمی، یک مزیت بزرگ است.
و به عنوان یک مزیت دیگر، فضای کاری شما نیز آزاد میشود؛ میتوانید آن دستگاههای پیچیده و لولههای مربوط به هوای فشرده را کنار بگذارید.
معایب
البته، این روش جادویی نیست؛ تابش مادون قرمز دارای یک مشکل است: این تابش در یک جهت خاص انجام میشود. هوای گرم مانند پتویی دور قطعات میپیچد، اما تابش مادون قرمز در یک خط مستقیم انجام میشود. اگر ویفر شما شکل پیچیدهای داشته باشد، یا اگر با چندین قطعه در کنار هم کار کنید، نقاط سردی در ویفر ایجاد خواهد شد.
باید مراقب باشید که لامپها در جای مناسب قرار بگیرند و زاویه بازتابندهها نیز درست باشد. اگر تنظیمات درست انجام نشود، ویفر تغییر شکل خواهد داد. البته، نیاز به برنامهریزی بیشتری وجود دارد، اما وقتی که تنظیمات درست انجام شود، سرعت این روش، ارزش تلاشهای انجام شده را دارد.