جلوگیری از آلوده شدن ویفرها، قبل از اینکه فرآیند آلودگی آغاز شود
در تولید سنسورهای بیولوژیکی، خراب شدن یک لامپ، مشکل کوچکی نیست؛ بلکه یک فاجعه است. با خراب شدن یک لامپ، تمام ویفرهای موجود در آن اتاق، بیارزش میشوند.
وقتی که از دماهای بالا برای گرم کردن لامپها استفاده میشود، پوشش کوارتزی لامپ تحت فشار حرارتی قرار میگیرد. اگر لوله لامپ پاره شود، تکههای شیشه و گاز هالوژن روی ویفرها میافتند. ما لامپهای مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
جلوگیری از ورود آلودگیها به داخل
ما از کوارتز مستحکمی استفاده میکنیم که بتواند در برابر این فشارهای حرارتی مقاومت کند. اما ما به همین جا متوقف نشدیم؛ یک لایه محافظ نیز اضافه کردیم. اگر رشته الکتریکی لامپ خراب شود یا کوارتز پاره شود، این لایه محافظ، تکههای شیشه را در جای خود نگه میدارد. در نتیجه، هیچ چیز روی ویفرها نمیافتد و بازدهی تولید حفظ میشود. این کار بسیار ساده است.
مقابله با گرما
مشکل اینجاست که تولید با بارهای بالا، باعث ایجاد «نقاط داغ» میشود. اگر شیشه بیش از حد داغ شود، شروع به نرم شدن میکند. برای حل این مشکل، ما توان الکتریکی را در سراسر لوله لامپ توزیع میکنیم تا از ایجاد این نقاط داغ جلوگیری شود. همچنین از الکترودهای دقیق برای حفظ ثبات جریان الکتریکی استفاده میکنیم.
البته، اگر مدام لامپها را در حداکثر توان خود کاربرد دهید، کوارتز لامپ خسته خواهد شد. این یک قانون فیزیکی است. بنابراین، باید تعداد دفعات استفاده از لامپها را زیر نظر داشته باشید و آنها را در زمان مناسب تعویض کنید. بهتر است ده دقیقه وقت بگذارید تا لامپها را تعویض کنید، تا اینکه یک روز کامل را صرف حل مشکلات ناشی از خرابی لامپها کنید.
کارکرد صحیح لامپها در اتاقهای پاک
ما همچنین تمام مواد غیرضروری را از لامپها حذف کردیم؛ چرا که این مواد ممکن است در ساعات اولیه کارکرد لامپ، به بخار تبدیل شوند. این کار باعث میشود که فضای اتاق پاک باقی بماند.
یک نکته مهم: مطمئن شوید که فنهای خنککننده، گرمای لامپ را از انتهای آن دور میکنند. اگر اتصالات لامپ بیش از حد داغ شوند، یا اگر شیشه لامپ در معرض تغییرات دمایی شدید قرار بگیرد، لامپ خراب خواهد شد. بنابراین، باید لامپها را خنک نگه دارید تا به خوبی کار کنند.