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		<title>Seguridad on Warm IR Patio Comfort</title>
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				<title>Distancia de seguridad para el calentamiento de obleas</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://warm-ir-patio-comfort.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png&#34; alt=&#34;Distancia de seguridad para el calentamiento de obleas&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;En la sala de litografía, un oblea de 300mm contiene miles de dados, y cada segundo cuenta para el presupuesto térmico. Un horneado suave que deriva incluso 0.3°C puede afectar la dimensión crítica, y un horneado duro que se &lt;a href=&#34;https://o-yate.net&#34;&gt;caliente&lt;/a&gt; en el borde comenzará a mostrar residuos. La distancia de seguridad para el calentamiento de la oblea no es un margen de confort, es la línea que evita la pérdida de rendimiento.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;Lo que importa bajo el capó&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;Construimos el sistema de calentamiento alrededor de una uniformidad en estado estable de ±0.1°C en el plano de la oblea, luego la verificamos con un mapeo multipunto bajo condiciones de producción. La zona caliente utiliza emisores de cuarzo-halógeno calibrados para una respuesta rápida y repetible. La cámara es compatible con sala limpia Clase 1–100, con materiales de baja emisión de gases y un flujo laminar que mantiene constante el recuento de partículas. Los perfiles de horneado de fotoresistente se repiten dentro de ±0.1°C entre corridas, por lo que la dimensión crítica y el ángulo de pared lateral se mantienen dentro de la especificación.&lt;/p&gt;</description>
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