Lámpara infrarroja a prueba de agua para enjuague

Sat, 20 Jun 2026 01:50:08 +0800

En el banco de secado húmedo, es en la etapa de enjuague donde la calidad del producto disminuye silenciosamente. ¿Un punto frío o una temperatura irregular durante el secado? Eso es lo que causa marcas de agua, partículas que se adhieren a la superficie del wafer y estrés en la capa fotolítica que no se puede controlar. Lo que se necesita es un calor preciso, localizado y constante.

Precisión del calentamiento por infrarrojos: Uniformidad y repetibilidad submilimétricas Utilizamos lámparas infrarrojas impermeables que generan un campo térmico estable, con un control espacial de precisión submilimétrica. De esta manera, la temperatura del wafer sigue el perfil deseado, ciclo tras ciclo. Las lámparas infrarrojas de onda corta calientan rápidamente, con baja masa térmica, lo que permite un control más preciso. Los datos demuestran que la uniformidad a nivel del wafer es de ±0.1°C, y la repetibilidad entre diferentes procesos es alta.

Lámpara infrarroja del SRD (enjuagador y secador por giro)

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

En el área de producción, el ciclo SRD es donde se genera el rendimiento o donde este se pierde silenciosamente. Un enjuague que deja microgotas, o un secado que introduce tensiones en la oblea, se traduce en defectos y desperdicio. La lámpara infrarroja en su Spin Rinse Dryer no es solo una fuente de calor. Es el actuador térmico que define el límite del secado. Si la salida varía o la uniformidad se degrada, la repetibilidad de la que depende en los procesos de litografía y fotoresistencia se pierde.

Enjuagar on Warm IR Patio Comfort

Lámpara infrarroja a prueba de agua para enjuague

Lámpara infrarroja del SRD (enjuagador y secador por giro)