Trockner on Warm IR Patio Comfort

Digitale Steuereinheit für Infrarot Trockner

Wed, 15 Jul 2026 13:49:42 +0800

Verhinderung von Druckausbrüchen in den Quarztuben beim Trocknen der Wafer
Seien wir ehrlich: Wenn eine Infrarotlampe während des Herstellungsprozesses der Wafer versagt, handelt es sich dabei nicht einfach um ein „Wartungsproblem“. Es ist rather ein Albtraum. Glassplitter und Halogengas fallen direkt auf die Wafer herab. Ein einziger Ausbruch bedeutet, dass ganze Chargen unwiederbringlich zerstört werden. Deshalb legen wir großen Wert darauf, wie unsere digitalen IR-Controller sowie die Lampenkonstruktionen gebaut sind. Wir wollen sicherstellen, dass so etwas niemals passiert.

Nahe infraroter (NIR) Wafer Trockner

Fri, 26 Jun 2026 01:13:42 +0800

In der Fertigungshalle kann eine Temperaturabweichung von 0,1 °C auf der Wafer-Oberfläche dazu führen, dass kritische Abmessungen um Nanometer verändert werden – und dadurch steigt die Anzahl der Partikel auf der Wafer-Oberfläche an. Herkömmliche Heizplatten sowie Konvektionsöfen haben Schwierigkeiten, eine gleichmäßige Temperatur während des Trocknungsprozesses zu gewährleisten – ohne dass es zu Problemen wie Ausgasungen oder Unregelmäßigkeiten im Resistfilm kommt. Genau deshalb wurde der Near-Infrared-Wafer-Trockner entwickelt: um dieses Problem zu lösen.

Was technisch wichtig ist: Der Near-Infrared-Trockner erwärmt die Wafer direkt, nicht den gesamten Behälter. Dadurch entsteht eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C über eine Fläche von 300 mm. Zudem erfolgt die Erwärmung in kürzester Zeit, und es ist möglich, den Wärmeeintrag präziser zu steuern. Die Profile des Photoresists bleiben dabei von Charge zu Charge konstant, und auch bei Veränderungen der Chargengröße bleibt das Trocknungsverhalten stabil. Das System ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – es entstehen keine Partikel am Kontaktpunkt, und die Entlüftung sorgt dafür, dass Verunreinigungen nicht in den Prozessbereich gelangen. Die Zuverlässigkeit wird durch einen 24/7-Betrieb ohne unplanmäßige Stopps sowie durch eine lange Lebensdauer der Heizelemente ausgedrückt – diese halten deutlich länger als der übliche vierteljährliche Austauschzyklus.

SRD (Spin Rinse Dryer) Infrarotlampe

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

Role

Sie ist die SRD-Zyklus auf der Fertigungsebene, bei dem Ausbeute entsteht – oder unbemerkt verloren geht. Ein Spülvorgang, der Mikrotropfen hinterlässt, oder ein Trocknen, das Spannung in das Wafer einbrennt, führt zu Defekten und Ausschuss. Die Infrarotlampe in Ihrem Spin Rinse Dryer ist nicht nur Wärmequelle. Sie ist der thermische Aktuator, der die Trocknungsgrenze definiert. Wenn die Leistung driftet oder die Gleichmäßigkeit auseinanderfällt, geht die Wiederholgenauigkeit verloren, auf die Sie in der Lithografie und der Photoresist-Verarbeitung angewiesen sind.