Wasserdichte Infrarotlampe zum Spülen

Sat, 20 Jun 2026 01:50:08 +0800

Auf der feuchten Arbeitsfläche ist die Reinigungsphase genau der Punkt, an dem die Produktqualität nach und nach abnimmt. Kältepunkte oder ungleichmäßige Temperaturen während des Trocknungsprozesses? Das führt zu Wasserflecken, Partikeln, die an der Oberfläche haften bleiben, sowie zu Stress auf dem Photoresist – Dinge, die man nicht kontrollieren kann. Was man braucht, ist Wärme, die reproduzierbar, lokalisiert und gleichmäßig verteilt wird.

Präzision der Infrarotheizung: Sub-Millimeter-Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit
Wir verwenden wasserdichte Infrarotlampen, die ein stabiles thermisches Feld erzeugen – mit einer Präzision von unter einem Millimeter. Dadurch bleibt die Temperatur der Wafer von Run zu Run konstant. Infrarotstrahlung mit kurzer Wellenlänge heizt schnell und benötigt keine große Menge an Wärmeenergie. Dadurch wird eine schnelle Anpassung der Temperatur erreicht. Die Genauigkeit liegt bei ±0,1°C – außerdem ist die Wiederholgenauigkeit über verschiedene Chargen hinweg hoch.

SRD (Spin Rinse Dryer) Infrarotlampe

Tue, 02 Jun 2026 03:42:10 +0800

Role

Sie ist die SRD-Zyklus auf der Fertigungsebene, bei dem Ausbeute entsteht – oder unbemerkt verloren geht. Ein Spülvorgang, der Mikrotropfen hinterlässt, oder ein Trocknen, das Spannung in das Wafer einbrennt, führt zu Defekten und Ausschuss. Die Infrarotlampe in Ihrem Spin Rinse Dryer ist nicht nur Wärmequelle. Sie ist der thermische Aktuator, der die Trocknungsgrenze definiert. Wenn die Leistung driftet oder die Gleichmäßigkeit auseinanderfällt, geht die Wiederholgenauigkeit verloren, auf die Sie in der Lithografie und der Photoresist-Verarbeitung angewiesen sind.

Spülen on Warm IR Patio Comfort

Wasserdichte Infrarotlampe zum Spülen

SRD (Spin Rinse Dryer) Infrarotlampe

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