Canon Lithografie Heizglühbirne

Tue, 30 Jun 2026 01:21:33 +0800

Auf dem Produktionsboden reicht eine Abweichung von einem halben Grad während des Trocknungsprozesses aus, um eine kritische Dimension um Nanometer zu verändern. Solche Abweichungen führen nicht nur zu Störungen im Herstellungsprozess – sie machen die Wafer sogar unbrauchbar. Wir haben den Heizkörper für die Canon-Lithografie so konzipiert, dass das thermische Verhalten immer innerhalb eines stabilen Bereichs bleibt, von Durchgang zu Durchgang.

Was wirklich wichtig ist: Der Heizkörper besitzt eine Quarzkapsel mit Halogen- oder NIR-Filamenten, die für eine schnelle Reaktion sowie eine konstante Leistung sorgen. Dadurch wird eine gute Temperaturgleichmäßigkeit in der Heizzone erreicht – ±0,1°C auf der Oberfläche der Wafer. Dadurch können die Trocknungsprozesse immer wieder wiederholt werden. Der Heizkörper ist außerdem für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet – es entstehen keine Partikel, und das geschlossene Design schützt vor Kontaminationen. Die Leistungsdichte entspricht der der Lithografieheizplatten – die Widerstandswerte bleiben stabil, und die Strahlungsleistung bleibt über Tausende von Stunden hinweg konstant. Wir haben den Heizkörper so konzipiert, dass er ständig in Betrieb bleiben kann – mit einer Lebensdauer, die einen 24/7-Betrieb ermöglicht und unplanmäßige Austausche minimiert.

Canon on Warm IR Patio Comfort

Canon Lithografie Heizglühbirne