Verhindern von Kontaminationen der Wafer bereits vor ihrem Entstehen
Bei der Herstellung von Bio-Sensoren ist ein defekter Lampenstrahl kein kleines Problem – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Wenn eine Lampe ausfällt, sind alle Wafer in dieser Kammer nutzlos.
Wenn hohe Heizbelastungen auftreten, wird die Quarzkapsel durch die thermischen Belastungen beschädigt. Wenn die Röhre zerbricht, fallen Glassplitter sowie Halogengas auf die Substrate. Wir haben unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass das nicht passiert.
Vermeiden von Schäden
Wir verwenden verstärktes Quarzmaterial, das solche extremen Temperaturwechsel überstehen kann. Doch damit waren wir noch nicht fertig: Wir haben außerdem einen schützenden Gehäuseauskleidung hinzugefügt – im Grunde eine Art „Sicherheitsnetz“. Wenn der Glühfaden versagt oder das Quarzmaterial reißt, bleibt der Schmutz im Gehäuse gefangen. So fallen keine Stücke auf die Wafer, und Ihre Produktionsrate bleibt erhalten. So einfach ist das.
Umgang mit der Hitze
Bei der Produktion unter hoher Belastung entstehen „heiße Punkte“. Wenn das Glas zu heiß wird, beginnt es, weich zu werden. Um das zu verhindern, verteilen wir die Leistung gleichmäßig über die gesamte Röhre – so entstehen keine gefährlichen Temperaturspitzen. Zudem verwenden wir Präzisionselektroden, um den Lichtbogen stabil zu halten.
Aber Achtung: Wenn Sie die Lampen ständig bis an ihre Grenzen betreiben, wird das Quarzmaterial irgendwann verschleißen. Das ist einfach Physik. Überwachen Sie die Betriebszeit der Lampen und ersetzen Sie sie regelmäßig. Es ist besser, zehn Minuten Zeit für den geplanten Austausch aufzuwenden, als einen ganzen Tag mit unplanierten Stillständen zu verbringen.
Erfolgreiche Nutzung in der Reinraumumgebung
Wir haben außerdem alle unnötigen Stoffe entfernt – keine flüchtigen Klebstoffe oder Flussmittel, die während der ersten Betriebsstunden verdampfen könnten. Dadurch bleibt die Vakuum- oder kontrollierte Atmosphäre sauber.
Ein weiterer Tipp: Stellen Sie sicher, dass die Kühllüfter die Wärme von den Enden der Lampen wegleiten. Wenn die Anschlüsse überhitzen oder das Glas einer extremen Temperaturunterschied ausgesetzt wird, kann das zum Bruch der Lampen führen. Halten Sie die Lampen kühl – dann funktionieren sie gut.