V prostředí výroby může i poloviční odchylka teploty při zpracování fotorezistoru převést dokonalý vzor ve šrot. Je potřeba, aby teplo působilo...

V provozu výroby může posun teploty o 0,1 °C na povrchu destičky způsobit změnu kritických rozměrů o několik nanometrů – což vede ke zvýšení počtu...

Na výrobní lince čeká ta flexibilní elektronická deska na proces „měkkého zahřívání“, který umožňuje přesnou regulaci tloušťky vrstvy fotorezistoru....