http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/tags/nir/ Recent content in (NIR) on Warm IR Patio Comfort Hugo cs Fri, 26 Jun 2026 01:13:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Fri, 26 Jun 2026 01:13:42 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Sušička polovodičových desek v blízké infračervené oblasti (NIR)"></p> <p>V provozu výroby může posun teploty o 0,1 °C na povrchu destičky způsobit změnu kritických rozměrů o několik nanometrů – což vede ke zvýšení počtu částic. Běžné ohřívače a konvekční pece mají potíže s udržením termální jednotnosti během procesů zahřívání, bez problémů spojených s uvolňováním plynů nebo vadami povrchu destičky. Právě proto byl vytvořen sušič destiček v blízkém infračerveném spektru – aby se tento problém vyřešil.</p> <p><strong>Co je technicky důležité:</strong><br> Systém NIR zahřívá přímo destičku, nikoliv celou komoru. Díky tomu je dosažena termální jednotnost v rozmezí ±0,1 °C na ploše 300 mm, rychlá reakce systému a lepší kontrola nad teplotou. Profily fotorezistu zůstávají konzistentní mezi jednotlivými šaržemi, a profily zahřívání zůstávají stabilní i při změně velikosti šarží. Systém je navržen pro použití v prostorách třídy 1–100 – bez žádné generace částic v místě kontaktu a s uspořádáním výfuků, které zabrání proniknutí kontaminantů do procesní oblasti. Spolehlivost systému se měří dobou provozu – 24/7 bez plá<a href="https://o-yate.com">novan</a>ých přestávek, a doba životnosti ohřívače přesahuje běžné čtvrtletní cykly výměny.</p>