http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/tags/kanon/ Recent content in Kanon on Warm IR Patio Comfort Hugo cs Tue, 30 Jun 2026 01:21:34 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 30 Jun 2026 01:21:34 +0800 http://warm-ir-patio-comfort.com/cs/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://warm-ir-patio-comfort.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Světložárovka pro kanonovou litografii"></p> <p>V prostředí výroby stačí během procesu zahřívání fotorezistentu posun o půl stupně k tomu, aby se kritická dimenze změnila o několik nanometrů. Takový posun nejenže narušuje průběh procesu – ale také způsobuje, že waferky se stávají odpadem. Navrhli jsme ohřívač pro litografii od Canonu tak, aby udržoval teplotní hodnoty v stabilním rozmezí, bez jakéhokoli posunu.</p> <p><strong>Co je opravdu důležité pod povrchem</strong> Ohřívač má kvartovou obálku s halogenovým nebo NIR vlákном, které umožňuje rychlou reakci a stabilní výkon. Díky tomu je dosažena vysoká teplotní jednotnost v celé horké zóně – ±0,1 °C na úrovni waferu. To zajišťuje, že profily zahřívání se opakují po celou dobu výroby. Zařízení je vhodné pro použití v čistých prostorách třídy 1–100, s nulovou tvorbou částic a uzavřeným designem, který zabrání kontaminaci. Výkon ohřívače je přizpůsoben potřebám litografických desek – má stabilní odpor a konzistentní výkon po tisíce hodin provozu. Bylo navrženo tak, aby zajistilo nepřetržitý provoz, s životností odpovídající 24/7 provozu a s minimálním počtem neočekávaných oprav.</p>