ল্যাব অন আ চিপ শুকনো হিটার

Thu, 04 Jun 2026 00:41:23 +0800

লিথোগ্রাফি ফ্লোরে, আপনি জানেন কিভাবে এটি ঘটে। একটি সাব-1°C পরিবর্তন সফট বেকের সময় একটি লাইন-প্রস্থ ত্রুটি নিঃশব্দে মুদ্রণ করতে পারে যা শুধুমাত্র মেট্রোলজি সময় প্রদর্শিত হয়। একই তাপীয় পরিবর্তন ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়াকে কণার এবং ত্রুটি সমস্যায় রূপান্তরিত করতে পারে। আমরা ল্যাব-অন-এ-চিপ ড্রাইং হিটারটি তৈরি করেছি যাতে সেই পরিবর্তন শুরু হওয়ার স্থানেই থামানো যায়।

প্রযুক্তিগতভাবে কি গুরুত্বপূর্ণ প্ল্যাটফর্মটি একটি কোয়ার্টজ-হ্যালোজেন এমিটার অ্যারে দ্বারা চালিত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেডে নির্ভর করে। ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ওয়েফার-স্তরের তাপীয় সমতার জন্য ±0.1°C বজায় রাখে সক্রিয় অঞ্চলের মধ্যে। ব্যাচ থেকে ব্যাচে তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি ±0.2°C এ থাকে, তাই আপনার ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইল লক করা থাকে।

Chip on Warm IR Patio Comfort

ল্যাব অন আ চিপ শুকনো হিটার