على الطاولة المبللة، يحدث فقدان الكفاءة في خطوة الشطف. هل يكون السبب وجود نقاط باردة أو درجات حرارة غير متساوية أثناء عملية التجفيف؟ هذا هو السبب في ظهور بقع مائية وجزيئات تلتصق بالسطح، بالإضافة إلى مشاكل في استخدام المواد الكيميائية المستخدمة في عملية الشطف. ما نحتاجه هو حرارة مستقرة ومتساوية في كل مكان.
دقة التسخين بالأشعة تحت الحمراء: توحيد درجة الحرارة على مستوى دقيق جداً نستخدم مصابيح أشعة تحت حمراء مقاومة للماء، وهي توفر مجالاً حرارياً مستقراً مع درجة دقة عالية جداً، بحيث تظل درجة حرارة الرقاقة ثابتة في كل مرة. الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة تسخن بسرعة، ولا تحتاج إلى طاقة كبيرة، مما يؤدي إلى تحكم دقيق في درجة الحرارة. النتائج تظهر توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة بدقة ±0.1 درجة مئوية، بالإضافة إلى قدرة عالية على التكرار من عملية إلى أخرى.
لماذا يعمل هذا النظام في محطة الشطف؟ يجب أن يكون التسخين في خطوة الشطف دقيقاً ومستقراً، ويجب أن يتم في بيئات نظيفة من الفئة 1-100. المصباح لا يصدر أي جزيئات، والغلاف المقاوم للماء يتحمل رذاذ المياه والمواد الكيميائية دون أن يؤثر ذلك على استقرار الإشعاع. يمكن تقليل وقت العملية، لأن المصباح يصل إلى درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ، كما يمكن تقليل استهلاك الطاقة عن طريق توجيه الحرارة في الوقت المناسب – بدون أي هدر في الطاقة. يقل عدد عمليات إعادة العمل، ويقل الهدر، كما يتم التجفيف بشكل فعال، مما يحافظ على سلامة الأنماط الموجودة على الرقاقة.
ملاحظات التركيب والتشغيل يجب أن تكون درجات الدقة في تركيب المصباح عالية جداً. يجب أن يكون الإشعاع موجهاً نحو سطح الرقاقة بدقة ±0.5 مم، إذا أردنا الحفاظ على توحيد درجة الحرارة. المصباح مصمم للاستخدام مع الماء المقطر والمواد الكيميائية العادية، لكن المحاليل الغنية بالكلوريد أو المحاليل العدوانية تتطلب مراجعة خاصة للمواد المستخدمة. يجب إجراء فحوصات دورية للتأكد من استقرار شدة الإشعاع ودرجة الحرارة؛ حتى مع استخدام مصابيح مستقرة، قد يحدث اختلاف في القراءات مع مرور الوقت.